CEMIA2020-2-02 半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范—编制说明.pdf

一、工作简况，包括任务来源、主要工作过程、主要参加单位和工作组成员及其所做的

工作等

1、任务来源

为了更好的规范半导体单晶硅生长用石英坩埚行业发展，指导企业生产，让所有生

产企业有统一的标准来衡量产品质量，进行生产。中国电子材料行业协会于2020年决

定制定《半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范》团体标准。

本规范由锦州佑鑫石英科技有限公司，内蒙古欧晶石英有限公司与江西中昱新材料

科技有限公司负责起草。2020年9月成立了编制组，共同起草制定了《半导体单晶硅生

长用石英坩埚生产规范》团体标准。

2、主要工作过程

2020年7月成立了编制组并展开工作。参阅了国内外相关的标准和文献，努力编制

出高质量、具有可操作性的产品标准和生产规范。

2020年9月在内蒙古呼和浩特召开了《半导体单晶硅生长用石英坩埚》及《半导体

单晶硅生长用石英坩埚生产规范》的团体标准立项会；

2020年11月完成了《半导体单晶硅生长用石英坩埚》及《半导体单晶硅生长用石

英坩埚生产规范》的讨论稿，并在浙江余姚召开上述两项团体标准研讨会，邀请国内科

研院所，大学的专家，国内有代表性的坩埚生产企业共同讨论，对讨论稿中的标准范围、

相关技术参数和要求进行分析和讨论。

2020年12月完成《半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范》的征询意见稿。

二、编制原则和主要内容的依据

1、编制原则

本文件按照GB/T1.1-2020《标注化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草

规则》的要求进行编制。制定的原则是保持标准的科学性和适用性，各项技术指标均能

达到国内先进标准水平。

2、主要内容依据

本文件的编制主要参照《光伏单晶硅生长用石英坩埚生产规范》T/CEMIA004-2018

的要求以及国内主要生产石英坩埚企业的生产操作指导书、生产流程、检验人员和设备

的要求为依据，确保生产规范化，加强生产现场的有效控制，确保石英坩埚质量的稳定。

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三、规范主要制定内容说明

本规范明确了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员素质要求、设备要求、生

产原料、生产方法、生产现场环境、原辅材料入厂到形成最终产品的检验过程及人员防

护要求。确保生产规范化，加强生产现场的控制，有效控制作业现场，确保石英坩埚质

量的统一性和稳定性。

1、从业人员

职业健康的要求

岗位技能的要求

2、生产设备

熔制设备的要求

外表面处理设备的要求

切边倒棱设备的要求

化学清洗设备的要求

烘干设备的要求

涂层设备的要求

3、主要原辅材料

石英砂的纯度要求

石墨电极的理化指标要求

化学药液、涂层原料、纯水的要求

4、生产工艺流程及方法（生产规范的工艺流程图）

4.1生产流程

上料成型电弧熔制初检

化学清洗过程检验切边、倒棱外表面处理

烘干成品检验包装出厂检验

涂层

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4.2生产方法

熔制工序的要求

外表面处理的要求

切边倒棱工序的要求

化学清洗工序的要求

烘干工序的要求

涂层工序的要求

包装工序的要求

5、作业环境

作业场所环境的要求

生产现场及防护的要求

6、产品质量管控

原辅材料管控要求

生产过程管控的要求

产品管控的要求

实现石英坩埚从原材料进厂到交付前整个过程记录的要求

7、相对于光伏单晶硅生长用石英坩埚生产规范，本文件增加对以下内容进行增加

或调整：

增加烘干的定义，增加烘干设备的说明，增加烘干生产过程的说明；

将涉及化学清洗定义，设备和生产过程中的手动清洗和自动清洗相关条目进行合

并；

将涉及涂层定义，设备和生