同轴集成式宏微驱动器：磁路优化与温升特性的深度剖析.docx

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2025-03-29 发布于上海
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同轴集成式宏微驱动器：磁路优化与温升特性的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业和科学研究中，精密定位技术扮演着举足轻重的角色，其广泛应用于微电子制造、生物医学工程、光学仪器等众多领域。以微电子制造为例，在芯片加工过程中，对硅片的刻蚀、光刻等工艺需要极高的定位精度，稍有偏差便可能导致芯片性能下降甚至报废；在生物医学工程里，细胞操作、基因检测等实验要求能够精确控制微操作器的位置，以实现对微小生物样本的精准处理。同轴集成式宏微驱动器作为实现精密定位的关键部件，因其能够将宏动和微动功能集成于一体，可在实现大行程运动的同时保证高精度定位，从而在精密定位领域具有不可或缺的地位。

磁路作