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《集成电路制造工艺》PPT完整全套教学课件.ppt

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半导体工业概述

电子工业分类:

12

半导体

系统

工业

系统部分一般指电子产品,包括

印制板制造,以及设计和生产众

多基于半导体器件的产品。

半导体工业

原材料供应

电路设计

半导体工业

设备制造及

芯片制造

化学品供应

半导体工业主要指狭义的概念,即电路设计和芯片制造类企业

三种模式的芯片供应商:

•IDM(IntegratedDesignandManufacturer),

指的是从设计到生产制造都包揽的模式,之前业内的大

公司一般都是典型的IDM厂商,如Intel、三星

•Foundry即半导体芯片生产加工厂商,俗称“代工厂”,

专注于制造

•Fabless即没有自己生产线的IC设计公司。专注于设计。

分化的主要原因:

IC设计的技术含量很高,

需要有深厚的积累

m

Lore

m

Lore

IC生产制造设备的投资巨大,周期

长,经营管理也要非常有经验

•由于半导体芯片工艺更新换代和维护的成本和压力太大,众多IDM厂

商已纷纷放弃Foundry的运营,转向Fabless模式或介于两者之间的

Fablite模式,即“轻晶圆”模式,如Freescale(前身摩托罗拉半导

体部门)、NXP(飞利浦半导体部门)、Infineon(西门子半导体部

门)等。只有模拟IC由于其设计过程和性能与工艺关系密切,还有较

多IDM公司保留自己的生产线。而在数字IC方面,大部分公司都已转

向Fabless模式,Foundry份额也逐渐集中到少数几家之中,目前主要

的“纯制造”厂家(pureplayfoundry)只有TSMC、

GlobalFoundries、UMC、SMIC这几家。显然,很多纯设计的IC公

司没办法也不需要接触到IC的生产流程。因此,如今业内谈到IC设计

时,多数是指Fabless模式,特别是数字IC设计。

集成电路发展标志

器件尺寸数量

(特征图形(集成度水

尺寸)平)

特征图形尺寸:设计或生产中的最小尺寸(μm、nm)

集成度水平:电路中器件的数量,也就是电路的密度

(SSI/MSI/LSI/VSLI/ULSI/GSI)

uSSI(SmallScaleIntegratedcircuites)小规模集成电路

uMSI(MediumScaleIntegratedcircuites)中规模集成电路

uLSI(LargeScaleIntegratedcircuites)大规模集成电路

uVLSI(VeryLargeScaleIntegratedcircuites)超大规模集成电路

uULSI(UltraLargeScaleIC)特大规模集成电路(又称百万芯片)

uGSI(GiganticScaleIC)巨大规模集成电路

gigantic英[dʒaɪˈgæntɪk]美[dʒaɪˈɡæntɪk]

adj.巨大的,庞大的;巨人似的;硕大无比

半导体器件的生产阶段

原材料准晶体生长晶圆封装

备和晶圆准制造

衬底制备薄膜制备

微电子工艺主要内容

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