分析电子显微镜的构造及其功能.pptVIP

慢扫描CCD摄像机1.2.4图像观察与记录系统用视频摄像机记录透射电子显微像和使图像再生的方法可以方便地用于动态观察和快速记录图像以避免振动或热漂移对图像的影响，尤其在加热动态观察中，快速记录图像可极大节省稳定热漂移所需的时间。电子显微镜中通常使用慢扫描电荷耦合器件（CCD：charge-coupleddevice）摄像机，其结构示于图1.13。图1.13慢扫描CCD剖面图1.2.4图像观察与记录系统二、成像板用于电子显微镜的成像板（imagingplate）与最初开发用于X射线的成像板是一样的。它是在塑料片基上涂上掺Eu2+荧光物质的二维记录材料。当电子束照射到光激励隐像显现性物质上将形成电子-空穴对。电子被荧光体的缺陷部位（阴离子的空格点）捕获，而空位被Eu2+捕获。如果将激光束照射到这种光激励隐像显现性荧光体上，被捕获的电子就被释放在导带中，与空位再结合后发出光。这种光被光电倍增管转变成放大的电信号，最后再生图像。图像的数据被读取后，当成像板遇到强可见光时，残余的电子-空穴对几乎完全消除，由此成像板可以反复使用。1.2.4图像观察与记录系统图1.14成像板记录图像和再生的原理1.2.4图像观察与记录系统表1.3成像板和慢扫描CCD摄像机的性能比较像素尺寸像素数目动态范围特征使用时的注意事项成像板25μm×25μm(50μm×50μm)3000×3760(2048×1536)4~5个数量级和底片一样可以装在各种电子显微镜中有衰减特性慢扫描CCD24μm×24μm1024×1024(2048×2048)4个数量级可在几秒钟内采集图像电子射线饱和时，图像上出现人为的假象注：关于像素尺寸和像素数目，列出的是有代表性的通用的系统，其他型号的值作为参考列于括号中。真空系统是为了保证电子的稳定发射和在镜筒内整个狭长的通道中不与空气分子碰撞而改变电子原有的轨迹，同时为了保证高压稳定度和防止样品污染，不同的电子枪要求有不同的真空度。1供电系统主要提供稳定的加速电压和电磁透镜电流。为了有效地减少色差，一般要求加速电压稳定在每分钟为10-6；物镜是决定显微镜分辨本领的关键，对物镜电流稳定度要求更高，一般为(1～2)×10-6/min，对中间镜和投影镜电流稳定度要求可比物镜低，约为5×10-6/min。21.2.5真空和供电系统1.2构造及其特性1.2.6仪器的计算机控制和分析数据的计算机处理1.2构造及其特性现代的高性能电子显微镜都实现计算机（CPU）的控制。例如，各透镜系统的电流值等都可以存储在计算机中，由此可以建立专家系统，使透镜系统很容易实现最佳条件。利用计算机还能实现自动聚焦和消像散以及照相等一系列操作。图1.15给出了分析电子显微镜和它的各种附属装置的框架图。图1.15分析电子显微镜和它的各种附属装置的框图1电子波长和电磁透镜1电子波长电磁透镜2构造及其特性1照明系统2多功能样品室3成像系统4图象观察与记录系统5真空和供电系统仪器的计算机控制和分析数据的计算机处理成像、变倍和衍射实现的原理4理论分辨本领极限第一章分析电子显微镜的构造及其功能第一章分析电子显微镜的构造及其功能本章要点电磁透镜具有与光学透镜同样的折射行为和像差，但电磁透镜可通过改变激磁电流方便地改变电磁透镜的焦距；在钨灯丝、LaB6和场发射三种电子枪中，尽管场发射电子枪昂贵，但由于它的亮度高、能量发散小、相干性好，是高分辨成像和微区分析所必需的；在双聚光镜基础上加上会聚小透镜和利用物镜前场可实现适用于不同用途的四种模式：TEM、EDS、NBD和CBED模式；慢扫描CCD摄像机和成像板与通常的底片不同，它们可以实现图像的数字化处理；电子显微镜的成像要求：上一透镜的像平面必须是下一透镜的物平面，只有改变中间镜的电流，就可方便实现变倍、成像与衍射的转换；电子显微镜的分辨本领极限主要受到球差的限制而不是衍射效应的限制，这与光学显微镜的分辨本领的影响因素相反，现可达0.2nm。1234561.1电子波长和电磁透镜分析电子显微镜(AEM:analyticalelectronmicroscope)是具有成分分析功能的透射电子显微镜(TEM:transmissionelectronmicroscope)。它是一种以高能电子束为照明源，通过电磁透镜将穿过样品的电子（即透射电子）聚焦成像的电子光学仪器。电子束照明源和电磁透镜是透射电子显微镜有别于光学显微镜的两个最主要的组分。1924年，德布罗意（deBroglie）鉴于光的