超声振动辅助抛光单晶硅：分子动力学模拟与实验的深度解析.docx

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2025-04-09 发布于上海
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超声振动辅助抛光单晶硅：分子动力学模拟与实验的深度解析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业的广阔版图中，单晶硅凭借其卓越的性能，占据着举足轻重的地位。在电子信息领域，单晶硅是制造集成电路、晶体管、传感器等关键电子元件的核心材料。随着信息技术的飞速发展，电子产品朝着小型化、高性能化方向迈进，对单晶硅的质量和精度提出了极为严苛的要求。例如，在超大规模集成电路制造中，单晶硅片的表面平整度和缺陷密度直接影响芯片的性能和良品率。在光伏产业，单晶硅作为太阳能电池的主要材料，其光电转换效率和稳定性关乎着太阳能发电的成本和可靠性。高效的单晶硅太阳能电池能够将更多的太阳能转化为电能，降低光伏发电成本，