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摘要
摘要
等离子体增强化学气相沉积（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，
PECVD）具有生长温度低、沉积效率高、易于操作等特点，已广泛应用于半
导体工业、光伏产业等领域。同时PECVD也面临着一些挑战，例如薄膜的均
匀性差以及薄膜厚度难以控制。为了实现对薄膜品质的精确调控、满足不同
工业应用的需求，因此对等离子体参数的控制以及生长条件的选择仍需要进
一步完善。随着
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