真空知识及漏率及检漏培训CSG.ppt

真空检漏·真空检漏真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。第23页，共36页，星期日，2025年，2月5日漏气对镀膜线生产的影响1.工艺参数难以调整。2.工艺重复性不好。3.理化指标，超标。4.影响均匀性。5.可钢产品，钢化出问题。6.脱膜。第24页，共36页，星期日，2025年，2月5日关于捡漏的相关概念1.漏率及其单位：PaL／s。2.最大容许漏率真空系统漏气是绝对的,不漏气是相对的。3.氦气漏率和空气漏率空气的分子量约为29，而氦气的分子量约为4，经过计算得出：氦气在穿过上述理想漏孔时，其流速应为空气流速的2.7倍。这就意味着，空气的最小可测漏气率是氦气的最小可测漏气率的1/2.7。我们可以这样讲：在氦气条件下所测量的漏气率是相对保守的数值，空气流率不会大于这个数值。第25页，共36页，星期日，2025年，2月5日检漏的方法1.气泡检漏：将空气压入被检容器，然后将其浸入水中或者对其可凝表面涂上肥皂液，观察气泡确定漏孔位置。2.充压检漏法:在被检件内部充入一定压力的示漏物质,如果被检件上有漏孔,示漏物质便从漏孔漏出。3.氦质谱检漏仪。4.氨捡漏法。5.高频火花检漏器6.用于质谱分析的各种质谱计第26页，共36页，星期日，2025年，2月5日第1页，共36页，星期日，2025年，2月5日真空：什么是真空？?真空-从字面上解释,就是把一定空间内的空气全部抽空，然而，至今为止，没有人能成功地做到这一点。根据科学试验得出结论，最高真空也就在10-14torr范围内。这个结论是由美国纽约的一家名叫IBMThomasJ.Watson的研究中心，于1976年10月，在一个温度降至华氏负269度的系统中得出的。甚至在如此低的压力环境下，每平方厘米仍然存在成千上万的分子，同时，也测量出空气的存在。因此，真空的定义是指低于大气压的稀簿气体状态，通常用760mmHg或1013mbar表示。1958年美国真空协会定义：如果一个立方厘米内的气体分子个数少于2.5x1019。该状态称之为“真空”。?一个在给定的空间内的气体状态低于一个大气压就称之为“真空”第2页，共36页，星期日，2025年，2月5日真空的历史第3页，共36页，星期日，2025年，2月5日真空范围的划分第4页，共36页，星期日，2025年，2月5日真空的单位国际制单位:N/m21N/m2=1Pa=0,01mbar其它单位:mbar1mbar=100PaTorr1Torr=1,33mbarmmHG1mmHG=1Torr=1,33mbarAtmosphere1atm=1013mbarPSI1psi=0,0145mbar%Vacuum1%Vacuum=10mbar务必明确所用单位!有多种单位都在使用!第5页，共36页，星期日，2025年，2月5日真空泵?*真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。按其工作原理，基本上分为气体传输泵和气体捕集泵两种类型。?由于真空应用部门所涉及的工作压强范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用，只有根据不同的工作压强范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。?1)真空泵的抽气速率（体积流率）------当泵装有标准实验罩并按规定条件工作时，从实验罩流过的气体流量与在实验罩上指定位置测得的平衡压强之比。S=Q/p.(m3/h,l/s)P1V1/T1=P2V2/T2(设T1=T2，则P1/P2=V2/V1)?2)真空泵的抽气量----流经泵入口的气体流量。（Pa.l/s）?3)真空泵的极限压强----泵装有标准实验罩并按规定条件工作，在不引入气体.正常工作的情况下趋向稳定的最低压强。抽速为零时的压强第6页，共36页，星期日，2025年，2月5日真空泵的用途分类?根据真空泵的性能，在各种应用的真空系统中它可承担如下一些工作?主泵----在真空系统中，用来获得所要求的真空度的泵。?粗抽泵----从大气压开始，降低系统的压强达到另一抽气系统开始工作的真空泵。?前级泵----用以使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强以下的真空泵。前级泵也可以做粗抽泵使用?维持泵----在真空系统中，当抽气量很小时，不能有效的利用主要前级泵，为此，在真空系统中配置一种容量较小的辅助前级泵维持主泵正常工作或维持已抽空的容器所需