T∕ZZB 0044-2016 TDR系列单晶生长炉.docx

I

T/ZZB0044—2016

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4产品分类 2

5基本要求 4

6技术要求 4

7试验方法 7

8检验规则 10

9标志、包装、运输、贮存 12

10订购与供货 12

11质量承诺 13

II

T/ZZB0044—2016

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由浙江省浙江制造品牌建设促进会提出并归口。

本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。

本标准主要起草单位：浙江晶盛机电股份有限公司。

本标准主要起草人：朱亮、傅林坚、曹建伟、张俊、王巍、严绍军、倪军夫、叶钢飞、邱敏秀。本标准为首次发布。

本标准由浙江省标准化研究院负责解释。

T/ZZB0044—2016

1

TDR系列单晶生长炉

1范围

本标准规定了TDR系列单晶生长炉的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、订购与供货、质量承若。

本标准适用于直拉法单晶生长炉（以下简称“单晶炉”）。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB150压力容器

GB/T2900.23电工术语工业电热装置

GB3095环境空气质量标准

GB/T4879防锈包装

GB/T5048防潮包装

GB5959.1—2005电热装置的安全第1部分：通用要求

GB/T10066.1电热设备的试验方法第1部分：通用部分

GB/T

10066.4—2004

电热设备的试验方法第4部分：间接电阻炉

GB/T

10067.1—2005

电热装置基本技术条件第1部分：通用部分

GB/T

10067.4—2005

电热装置基本技术条件第4部分：间接电阻炉

GB/T13306标牌

GB/T13384机电产品包装通用技术条件

JB/T9691电热设备产品型号编制方法

3术语和定义

GB/T2900.23、GB/T10066.1确立的以及下列术语和定义适用于本标准。

3.1

直拉法czochralskimethod

生长单晶最常用的方法，即把高纯的多晶材料放在坩埚内并加热使之熔化，用固定在提拉轴上的籽晶与熔融的材料相熔接，然后以一定的速度垂直向上提拉，晶体便在籽晶下端不断生长。又称引上法、切克劳斯基法。

3.2

工作室尺寸dimensionsofworkingchamber

T/ZZB0044—2016

2

单晶炉设计时规定并在图样上标明的晶体生长室的空间尺寸，用其内径和高度表示。3.3

熔料量charge

单晶炉设计时规定的每炉一次最大装料量，不包括拉晶过程中添加的量。

3.4

晶体的等径部分isodiameterpartofcrystal

晶体拉制过程中，自转肩后从投入等径控制开始到等径控制结束的那一部分晶体。3.5

工作温度workingtemperature

单晶炉设计时规定的多晶材料熔化及单晶从熔液中生长允许使用的温度范围。

3.6

最高加热温度maximumheatingtemperature

单晶炉设计时规定的能够满足对加热系统（石墨加热器、石墨埚杆、石墨埚托、石墨坩埚及其屏蔽保温系统）进行预先煅烧处理而需达到的加热温度。

3.7

工作区workingregion

能满足炉温均匀度要求的区域，通常指正常拉晶条件下加热器内坩埚液面附近的区域。

4产品分类

4.1型号和规格

单晶炉按工作室内径尺寸可以分为多个型号，见表1。

表1单晶炉的型号和规格

型号

工作室内径

mm

TDR80

800

TDR85

850

TDR100

1000

TDR105

1050

TDR120

1120

TDR130

1300

4.2型号含义

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3

参照JB/T9691，单晶炉的型号规定如下：TDR口口-口

企业代号

结构区分代号

工作室内径，cm

电阻加热

单晶炉

特种电炉

4.3主要参数

在标准中对各个型号的单晶炉应分别列出以下各项参数：

a)电源电压，V；

b)电源频率，Hz；

c)相数；

d)晶体最大直径，mm；

e)最大熔料量，kg；

f)工作室尺寸，mm；

g)额定功率，kw；

h)工作温度，℃;

i)最高加热温度