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真空系统构成要素

课程概述课程目标掌握真空系统基本组成学习内容真空泵、真空规、阀门及其他组件重要性

真空基础知识10?3低真空101325~100帕10??高真空100~10??帕10??超高真空10??~10??帕Pa基本单位

真空应用领域工业应用镀膜、干燥、冶金科研应用电子显微镜、粒子加速器航空航天空间环境模拟、推进系统半导体制造

真空系统概述真空测量真空规和仪表系统真空控制各类阀门和控制装置真空管道连接系统各部分抽气系统

真空泵概述机械泵旋片泵、罗茨泵、干式泵动量传递泵分子泵、扩散泵捕获型泵离子泵、低温泵、吸附泵选择标准

机械真空泵（一）工作原理利用旋转转子与定子间体积变化主要特点结构简单，维护方便应用范围粗真空获取，前级泵使用极限压力一般可达0.1-1帕

机械真空泵（二）结构特点双8字形转子相互啮合旋转工作原理转子循环转动形成抽空过程应用优势大抽气速率，结构牢固可靠应用范围中真空获得，常与前级泵配合

分子泵工作原理高速旋转叶片给气体分子以定向动量转速特点转子转速高达数万转/分钟主要优势无油污染，高抽速，可获得高真空局限性需要前级泵，价格较高

扩散泵底部加热加热工作液体产生蒸汽高速喷射蒸汽通过喷嘴形成高速射流分子夹带射流夹带气体分子移向泵壁冷凝回流冷却泵壁使工作液体凝结回流

离子泵工作机制利用电场电离气体，离子轰击阴极气体分子被溅射金属吸附或包埋应用领域超高真空系统电子显微镜表面分析设备维护要点定期再生避免油污染控制放电电流

低温泵极低温表面（4-20K）冷凝气体，无机械部件，获取超高真空应用于空间模拟、粒子加速器，操作需低温防护

真空规测量作用实时监测系统真空度1分类依据直接测量型与间接测量型2测量范围从低真空到超高真空3选择标准准确度、价格、适用范围4

热偶真空规热传导原理气体导热性与压力相关测量范围10^3-10^-1帕主要优点结构简单，价格低廉主要缺点灵敏度低，易受污染

皮拉尼真空规结构特点热丝桥式电路工作原理气体导热率与压力关系测量范围102~10??帕测量精度±10%~±30%主要应用工业真空系统监测

电离规工作机制气体分子电离产生电流与压力相关测量范围10?1~10?1?帕主要类型热阴极型与冷阴极型使用注意避免过大气压工作，定期校准

电容膜片真空规原理介绍测量膜片形变引起的电容变化优势特点线性响应，不受气体种类影响应用场景精确测量，过程控制

真空阀门概述气流控制阻断或引导气体流动路径系统隔离隔离系统不同部分安全保护防止意外泄漏或污染工艺控制精确控制真空过程

闸阀结构特点平板式垂直移动闸板大口径通道低阻力设计适用范围高真空系统大口径管道主泵与腔体之间操作维护确保密封面清洁定期检查驱动系统防止异物卡阻

球阀开关迅速流通阻力小结构紧凑密封面磨损制造精度要求高

蝶阀设计特点圆盘在管道中转动控制流通适用场景低真空系统，流量调节使用注意不适合高精度密封，定期润滑维护

角阀结构特点90度气流转向设计主要优点安装紧凑，密封性好主要缺点流通阻力大，价格较高应用场合空间有限场合，精密真空系统

真空密封可靠性决定系统能否达到预期真空度适用性符合特定工作环境和条件耐用性长期保持密封性能

O型圈密封材料选择氟橡胶、丁腈橡胶、硅橡胶安装技巧适当润滑，避免扭曲常见问题老化、化学腐蚀、过度压缩

金属密封1高温应用可在高温环境下保持密封性能辐射环境耐辐射损伤，适合核应用3腐蚀环境特定合金可抵抗化学腐蚀维护要点检查变形、氧化，避免反复使用

真空法兰CF法兰：高真空，金属密封；KF法兰：快装式，低真空；ISO法兰：中真空选择依据：系统真空度、拆装频率、成本预算

真空管道材料选择不锈钢：耐腐蚀，低气体释放铝合金：轻便，导热性好铜：良好导热性，易加工设计考虑管径：影响抽速和阻力弯头：减少使用，增大曲率半径长度：尽量缩短，减小阻力清洁要求无油污：有机物易污染系统无尘：颗粒物会影响密封定期清洗：保持表面洁净

真空室设计原则强度满足大气压力要求尽量减少内表面积便于操作和维护材料选择不锈钢：耐腐蚀，低气体释放铝合金：重量轻，易加工特种钢：高强度，特殊需求实例应用真空镀膜：涂层应用空间模拟：航天测试材料处理：热处理，烧结

真空仪表真空计测量系统压力值流量计测量气体流量漏率计测定系统泄漏程度

真空控制系统控制台人机交互界面控制器处理信号和执行指令传感器采集各类工艺参数执行机构阀门开关和泵速控制

真空测漏10??低真空测漏帕·升/秒，气泡法，压力变化法10??高真空测漏帕·升/秒，卤素测漏，氦质谱法10?12超高真空测漏帕·升/秒，高灵敏度氦质谱法

氦质谱检漏喷氦在被测件外表面喷洒氦气渗透氦气通过泄漏处进入系统检测质谱仪检测系统中氦气含量判断根据信号强度判断泄漏位置和程度

真空系统设计原则最终验收系统性能符合设计指标系统集成各部件协调工作部件选型选择合适的泵、阀