《真空系统概述》课件.pptVIP

真空系统概述探索气体分子行为的奥秘了解真空技术的工业应用与科学价值

目录理论基础真空基础知识真空物理原理系统构成真空泵技术真空阀门类型测量与控制应用领域工业生产应用科学研究应用新兴技术趋势

什么是真空？真空定义低于大气压的空间真空度分类低真空：1-103Pa中真空103-10?1Pa高真空和超高真空10?1-10??Pa和更低

真空物理基础气体分子运动论分子随机运动分子相互碰撞能量分布遵循统计规律平均自由程分子间碰撞距离与压力成反比影响气体传热传质气体动力学方程麦克斯韦分布律玻尔兹曼统计传输现象理论基础

真空的重要性工业应用半导体制造航空航天真空镀膜科学研究粒子物理材料科学空间环境模拟技术创新新材料开发量子计算机纳米技术

真空系统的基本组成真空容器提供封闭空间真空泵抽除气体分子真空阀门控制气体流动真空测量仪器监测真空度

真空容器1功能与要求气密性好结构坚固内表面光滑2材料选择不锈钢铝合金玻璃3设计考量抗压强度低气体释放率便于加工与连接

真空容器设计考虑因素结构强度承受外部大气压力防止变形和崩溃泄漏控制密封面设计焊接质量保证清洁度表面处理减少气体吸附接口配置泵接口布局观察窗设计

真空泵概述1抽气能力决定达到真空度的速度2极限压力能达到的最低压力3工作原理机械捕获、分子传输、气体吸附4分类依据工作原理、适用范围、结构特点

机械真空泵工作原理通过机械运动改变容积将气体从入口压缩排出主要类型旋片式泵往复式泵罗茨泵性能特点适合低真空和中真空区域抽气速率大可靠性高

旋片式机械泵结构与原理偏心转子与定子间形成变化空间工作介质依靠油密封与润滑性能特点价格适中、维护简单

罗茨泵10?2极限压力(Pa)中等真空范围500典型抽速(L/s)大气量抽气能力强3000转速(rpm)高速运转

分子泵

扩散泵

离子泵原理介绍电场电离气体阴极溅射钛钛吸附活性气体优点无油污染无机械部件极限压力低缺点成本高寿命有限不适宜起始抽气

低温泵冷凝原理低温冷却气体分子关键部件冷头温度可达10K应用场景超高真空系统

真空泵的选择目标真空度确定所需极限压力抽速要求考虑系统容积与抽气时间气体类型适应特殊气体抽除成本因素初始投资与运行维护

真空阀门功能与重要性控制气流方向系统隔离分区操作与维护主要类型闸阀、球阀、蝶阀、角阀控制方式手动、气动、电动

闸阀结构特点平行闸板式结构密封方式弹性体或金属密封开关方式完全开或完全关适用范围主管路隔离，大口径应用压力范围大气压至超高真空

球阀工作原理球形闭合元件90°旋转开关通流阻力小优势分析体积小巧操作简便维护成本低应用场合气源控制支路切换小口径管路

蝶阀设计特点圆盘旋转控制流量结构紧凑轻便安装空间需求小使用场景粗真空系统大口径管路调节频繁调节场合局限性密封性一般不适用高真空温度适应性有限

角阀结构与功能90°转向设计流动阻力较大密封性能密封效果好适用高真空系统应用实例真空泵入口控制真空计连接处

真空测量概述精密测量科研级要求过程控制工业生产需求3测量方法分类直接测量与间接测量

机械真空计1U型真空计液柱高度差显示压力2压缩真空计利用波登管原理3测量范围1-10^5Pa4优势简单直观、成本低

热传导真空计工作原理气体导热系数与压力相关加热元件温度变化常见类型皮拉尼规热偶真空计测量范围10^-1-10^3Pa中真空区域应用广泛

电离规原理介绍电子碰撞气体产生离子热阴极电离规用灯丝发射电子冷阴极电离规利用高压放电测量范围10^-2-10^-10Pa

皮拉尼规结构与原理金属丝电阻变化测量电路设计惠斯通电桥电路3应用领域前级真空监测局限性气体种类敏感

真空测量仪器选择

真空系统设计原则目标定义确定所需真空度组件选择合理匹配系统元件系统集成优化布局和连接

真空系统典型结构单级系统结构简单单一真空泵低真空应用维护方便多级系统前级泵与主泵组合可达高真空抽气效率高结构复杂选择依据目标真空度工作效率要求投资成本气体种类

真空管道设计尺寸选择考虑气体流量材料考虑气密性与耐腐蚀连接方式法兰选择布局原则最短路径

真空密封技术静态密封固定部件间密封O型圈密封金属密封玻璃-金属密封动态密封旋转轴密封磁流体密封波纹管密封差动抽气密封密封材料氟橡胶丁腈橡胶金属垫片陶瓷材料

O型圈密封

金属密封CF法兰刀口压缩铜垫片适合超高真空金属丝密封软金属丝变形密封耐高温应用应用场景高温环境超高真空系统

真空系统清洁重要性减少气体释放提高极限压力清洁方法溶剂清洗超声波清洗烘烤处理加速气体脱附缩短抽气时间

真空系统泄漏检测压力升高法观察系统压力变化肥皂泡法直观但灵敏度低喷洒法局部喷洒检测气体氦质谱检漏高灵敏度精确定位

氦质谱检漏10?12灵敏度(Pa·m3/s)极高检测精度4氦气质量数质谱仪选择性检测3主要检测模式喷氦、抽氦、充氦

真空系统维护日常检查观察压力读数泵油更换定期更换机