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面向压电陶瓷的直流耦合快速驱动功率放大电路关键技术与应用研究
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科技发展的浪潮中,压电陶瓷凭借其独特的物理特性,在众多领域展现出不可或缺的应用价值。压电陶瓷是一种能够实现机械能与电能相互转换的功能材料,基于其逆压电效应,在电场作用下会产生精确且微小的位移变化,这种特性使其成为实现精密控制与定位的理想选择。
在精密工程领域,如超精密加工,压电陶瓷被广泛应用于微位移驱动系统。超精密加工追求纳米甚至亚纳米级别的加工精度,压电陶瓷的高位移分辨率和快速响应特性,能够精确控制刀具或工件的微小位移,实现对材料的高精度去除或成型,从而满足光学元件、半导体芯片等精密零部件的
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