非傅里叶热传导模型下微梁谐振器热弹性阻尼的深度剖析与应用探索.docx

非傅里叶热传导模型下微梁谐振器热弹性阻尼的深度剖析与应用探索

一、绪论

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS）在众多领域展现出巨大的应用潜力，如航空航天、生物医学、通信以及汽车电子等。微梁谐振器作为MEMS的关键元件，在这些应用中扮演着核心角色，它常被用作加速度传感器、陀螺仪、滤波器、能量收集器等，其性能的优劣直接影响着整个微机电系统的功能和可靠性。例如，在航空航天领域，高精度的微梁谐振器加速度传感器可用于飞行器的姿态控制和导航系统，为飞行器的稳定飞行提供关键数据；在生物医学检测中，微梁谐振器能够实现对生物分子的高灵敏度检测，有助于疾病的早期诊断和治疗。

品质因