电子光学基础课件.pptVIP

電子光學基礎引言引言探索物質的微觀結構要借助儀器，人們使用最早的儀器當屬顯微鏡。放大鏡（凸透鏡）：簡單的放大作用光學顯微鏡（凸透鏡作為物鏡，凹透鏡作為目鏡）：可以將物體放大到1000倍，許多沒有被人們察覺的物質結構的細節，清晰地展現在人們的眼前。人眼的觀察：對周圍世界進行真實的觀察。1665年，虎克用以發現“細胞”的顯微鏡引言現代光學顯微鏡引言引言光學透鏡成象原理對於薄透鏡成像，物平面、焦平面、像平面三者之間的關係：L1:薄透鏡物距L2:薄透鏡像距f:薄透鏡焦距透鏡的放大倍數：光學透鏡成象原理1）一個世紀以來，人們一直用光學顯微鏡來揭示金屬材料的顯微組織，藉以弄清楚組織、成分、性能的內在聯繫。但光學顯微鏡的分辨本領有限，對諸如合金中的G.P區（幾十埃）無能為力。2）最小分辨距離計算公式其中d——最小分辨距離λ——波長n——透鏡周圍的折射率α——透鏡對物點張角的一半，n.sinα稱為數值孔徑，用N.A表示光學顯微鏡的局限性3)由於光的衍射，使得由物平面內的點O1、O2在象平面形成一B1、B2圓斑（Airy斑）。若O1、O2靠的太近，過分重疊，圖象就模糊不清。O1O2dLB2B1Md強度圖（a）點O1、O2形成兩個Airy斑；圖（b）是強度分佈。（a）（b）光學顯微鏡的局限性Airy斑圖（c）兩個Airy斑明顯可分辨出。圖（d）兩個Airy斑剛好可分辨出。圖（e）兩個Airy斑分辨不出。I0.81I光學顯微鏡的局限性4）對於光學顯微鏡，N.A的值均小於1，油浸透鏡也只有1.5～1.6，而可見光的波長有限，因此，光學顯微鏡的分辨本領不能再次提高。5）提高透鏡的分辨本領：增大數值孔徑是困難的和有限的，唯有尋找比可見光波長更短的光線才能解決這個問題。光學顯微鏡的局限性電子的波長比可見光波長更短的有：1）紫外線——會被物體強烈的吸收；2）X射線——無法使其會聚；最終人們將目光聚焦在電子上。電子波與電磁透鏡根據德布羅意物質波的假設，即電子具有微粒性，也具有波動性。電子波的波長：h——Plank常數m——電子品質v——電子速度，它和加速電壓之間有如下關係：e:電子所帶的電荷,U:加速電壓電子波結合以上兩式，有:電子速度與加速電壓有關,加速電壓越大，電子波長越短。普朗克常數=6.6261196×10-27爾格?秒電子的靜止品質=9.109558×10-28克電子的電荷量=4.803250×10-1庫倫電子波目前所使用的透射電子顯微鏡其電子槍的加速電壓一般都高於100千伏，這時需要對電子的能量和靜止品質引入相對論修正。電子波用乘前式兩邊得是相對論修正因數，當加速電壓為100和200千伏時，電子波長的變化約為5%和10%電子波加速電壓（伏）電子束波長（埃）相對論修正波長（埃）波矢長度（埃-1）112.2712.270.0815103.8793.8790.25781001.2271.2270.815010000.38780.38782.5786100000.12270.12218.1900500000.05480.053618.65671000000.03880.037027.027010000000.01230.0087114.9425電子波1）電子可以憑藉軸對稱的非均勻電場、磁場的力，使其會聚或發散，從而達到成象的目的。由靜電場製成的透鏡——靜電透鏡由磁場製成的透鏡——磁透鏡2）磁透鏡和靜電透鏡相比有如下的優點磁透鏡靜電透鏡1.改變線圈中的電流強度可很方便的控制焦距和放大率；2.無擊穿，供給磁透鏡線圈的電壓為60到100伏；3.象差小。1.需改變很高的加速電壓才可改變焦距和放大率；2.靜電透鏡需數萬伏電壓，常會引起擊穿；3.象差較大。目前，應用較多的是磁透鏡，我們只是分析磁透鏡是如何工作的。電子透鏡電子在非均強磁場中的運動對於非均強磁場，有聚焦成像作用。一般說來，磁場越強，磁場越集中於小範圍，電磁透鏡對電子束會聚能力就越強，則焦距就越短，放大能力就越強。電磁透鏡的優點，改變線圈中的電流，可相應改變磁場即聚焦能力。