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有源半导体器件嵌入式微悬臂梁及耦合谐振式微悬臂梁传感结构的性能与应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技的迅猛发展进程中，传感器作为获取信息的关键部件，其性能的优劣直接影响着各个领域的技术革新与应用拓展。有源半导体器件嵌入式微悬臂梁及耦合谐振式微悬臂梁传感结构，凭借其独特的结构优势与卓越的传感性能，在传感器领域占据了极为重要的地位。

有源半导体器件嵌入式微悬臂梁，巧妙地将有源半导体器件与微悬臂梁相结合，充分发挥了半导体器件在信号处理、放大以及智能控制等方面的强大功能，同时又融合了微悬臂梁高灵敏度、微型化的特点。这种创新的结构设计，使得传感器在微小物理量、化学量以及生物量的检测方面