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三维金属微细阵列电极微电铸技术：原理、工艺与应用突破

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，众多领域对微小化、高性能的器件需求日益增长，三维金属微细阵列电极应运而生，成为了研究与应用的热点。在微机电系统（MEMS）中，三维金属微细阵列电极作为关键部件，能够实现多种功能的集成与优化。例如，在微传感器中，其可以提高传感器的灵敏度和响应速度，使得对微小物理量或化学量的检测更加精准。在微执行器里，有助于提升执行效率和精度，实现更为精细的操作。

在生物医学领域，三维金属微细阵列电极同样发挥着不可或缺的作用。在神经科学研究中，用于神经元的电生理信号记录与刺激，帮助科研人员深入了解神经