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基于折射率再调制的光纤传感器制备及传感特性研究

摘要

由于光纤传感器具有体积小、灵敏度高、抗电磁干扰的优点，在智能设备制造、结

构健康检测、生化医疗等领域得到广泛应用。不同的传感器制备方式赋予了其不同的传

感特性，使光纤传感器能够应用在轴向应变、弯曲、折射率等多种物理量的测量。由于

监测目标逐渐发展至深空、深海等具有复杂环境的领域，对光纤传感器的灵敏度，集成

度等要求日益提升。为满足多样化的传感需求，采用单一的制备方式已经难以获得传感

器灵敏度的突破。为了使光纤传感器在不同物理特性传感中得到更大的性能提升，本文

利用CO2激光器对原始传感结构进行折射率再调制，制备了三种不同原理的高灵敏度、

低成本光纤传感器并深入研究了其传感特性。现将本论文的主要工作内容归纳如下：

1.通过CO激光器对传统的D型长周期光纤光栅进行折射率再调制，制备了具有

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高应变响应的四向调制型长周期光纤光栅。利用波束传输法确定了光栅的基本参数，分

析了刻蚀凹槽对长周期光纤光栅轴向应变灵敏度的影响。通过对结构进行轴向应变测

试，结果表明，在0~125με范围内，结构的应变灵敏度为127.5pm/με，在125~575με

范围内，平均灵敏度为17.7pm/με，远高于传统长周期光纤光栅。随后，通过应力分布

仿真计算，从等效半径、应变敏感区域、纤芯偏移三个方面对其原理进行了详细的阐述。

2.通过将光纤拼接与CO激光曝光两种制备方式进行结合，制备了具有矢量弯曲

2

判别能力的高灵敏度弯曲传感器。通过光纤拼接技术制备组装式长周期光纤光栅，随后

通过CO激光器进行折射率再调制使其满足相位匹配，形成谐振峰。由于多模光纤高折

2

射率调制效率，大大缩短了结构长度且增加了倏逝场，同时CO激光器对折射率分布进

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行重构导致其弯曲下的模式分布具有方向性，从而具有矢量弯曲判别能力。通过对三个

−1

正交方向的弯曲测试得知：在3个正交方向上，最大弯曲灵敏度分别为85.81nm/m(0°)、

−1−1

16.18nm/m(90°)、-16.18nm/m(180°)，实现了高灵敏矢量弯曲测量。

3.利用CO2激光器对单模渐变折射率多模单模光纤干涉仪进行折射率再调制，破--

坏了结构中的自成像效应，大大增强了结构倏逝场，从而制备出了高灵敏度折射率传感

器。通过波束传播法对实验所用渐变折射率多模光纤的自成像效应进行仿真，将渐变折

射率多模光纤长度选择为自成像长度的整数倍，减少了插入损耗。采用相同的调制功率

对不同长度的单模-渐变折射率多模-单模光纤干涉仪进行折射率再调制，并分别进行折

射率传感测试，结果表明：在1.333-1.419范围内，最大折射率灵敏度达到811.00nm/RIU。

该结构的折射率灵敏度明显高于传统的多模干涉型结构，证实了渐变折射率多模光纤作

哈尔滨工程大学硕士学位论文

为传感结构在生化测量领域的应用潜力。

CO

关键词：折射率再调制；激光器；长周期光纤光栅；光纤干涉仪

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基于折射率再调制的光纤传感器制备及传感特性研究

ABSTRACT

Opticalfibersensorsarewidelyusedinintelligentequipmentmanufacturing,structural

healthdetection,biochemicalandmedicalfieldsduetotheiradvantagesofsmallsize,high

sensitivityandanti-electromagn