T/CIE 117-2021MEMS器件机械冲击试验方法.pdf

ICS31.200

CCSL55

团体标准

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TCIE1172021

MEMS器件机械冲击试验方法

MechanicalshocktestmethodforMEMSdevice

2021-11-22发布2022-02-01实施

中国电子学会发布

中国标准出版社出版

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TCIE1172021

目次

前言…………………………Ⅰ

引言…………………………Ⅱ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4要求………………………1

4.1大气环境条件………………………1

4.2冲击试验设备………………………1

4.3采集装置……………1

5试验………………………2

5.1试验准备……………2

5.2试验条件……………2

5.3机械冲击试验程序…………………3

6检测和失效判据…………………………4

6.1检测…………………4

6.2失效判据……………4

()…………

附录资料性冲击试验设备

A6

参考文献………………………7

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TCIE1172021

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.12020