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哈尔滨工业大学工程硕士学位论文
摘要
反应烧结碳化硅(RB-SiC)是一种应用广泛的硬脆陶瓷材料,具有高耐磨性、低
密度、高比刚度、耐高温等特点,是制造大口径光学非球面镜的理想材料之一。然
而由于其高硬度、高强度、低断裂韧性和脆性的特性,使得传统的加工方法很难将
其加工成所需的形状,并且这些特性会导致加工过程中出现较大的表面缺陷和亚
表层损伤。与数控机床相比,工业机器人灵活性强、操作空间大、智能化程度高、
成本低;与传统砂轮磨削相比,轮带磨削工具结构简单,去除函数稳定,能够抑制
裂纹的萌生,加工得到的表面质量更好,尤其适用于高陡度深腔光学元件的加工。
综合以上优点,机器人轮带磨削加工系统作为一种低成本、高灵活性和高精度的加
工解决方案,引起了国内外了学术界研究人员和工业界从业人员的广泛关注。
本文将开发一套机器人公自转轮带磨削系统控制软件,进行单因素直线沟槽
磨削工艺实验,分析不同工艺参数变化对反应烧结碳化硅磨削加工后表面质量和
材料去除率的影响规律,探究砂带磨损和机器人运动参数对磨削加工表面质量的
影响规律,对反应烧结碳化硅平面进行磨削加工仿真,并进行磨削修形实验。本文
主要研究工作如下:
首先基于课题组现有的六轴工业机器人及公自转轮带磨削装置,建立上位机
和机器人控制装置之间的网络通信,并使用机器人配套的函数库模块开发机器人
控制软件,根据需求对软件功能细分,设计相应的功能模块。
其次进行单因素沟槽磨削基础工艺实验,分析气缸气压、砂带线速度、工具进
给速度等工艺参数的变化对反应烧结碳化硅加工后的表面质量和材料去除率的影
响规律;根据Hertz接触理论和运动学原理分别对轮带磨削工具接触区域进行压力
分布和速度分布分析,以此为基础利用广义Preston方程建立了轮带磨削工具的去
除函数模型并进行了仿真,并根据单因素实验结果对去除函数模型进行修正。
最后分析了砂带磨损的失效形式,并使用不同磨损时长的砂带进行沟槽实验,
研究砂带磨损时长对磨削材料去除率和表面粗糙度的影响规律;通过激光位移传
感器信号分析了机器人运动参数对抑制振动、提高加工表面质量的影响,并利用平
面磨削实验验证了运动参数对提高表面质量的有效性,对反应烧结碳化硅平面进
行磨削修形实验。
关键词:工业机器人;轮带磨削;控制系统;碳化硅;去除函数
I
哈尔滨工业大学工程硕士学位论文
Abstract
Reaction-sinteredsiliconcarbide(RB-SiC)isakindofhardandbrittleceramic
materialwidelyused.Ithasthecharacteristicsofhighwearresistance,lowdensity,high
specificstiffnessandhightemperatureresistance.Itisoneoftheidealmaterialsfor
manufacturinglarge-diameteropticalasphericmirrors.However,duetoitscharacteristics
ofhighhardness,highstrength,lowfracturetoughnessandbrittleness,itisdifficultfor
traditionalprocessingmethodstoprocessitintotherequiredshape,andthese
characteristicswillleadtolargesurfacedefectsandsub-surfacedamageintheprocessof
processing.ComparedwithCNCmachinetools,industrialrobotshavestrongflexib
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