面向高铁轨道螺栓预紧力检测的声表面波传感器研制.pdf

摘要

摘要

在高铁轨道的施工建设过程中，铁轨的固定依靠于大量的高强度螺栓。

高铁运行时列车速度快、重量大，对轨道螺栓的要求极高。若螺栓出现松动，

预紧力小于理想值，会出现较大的安全隐患。目前，检测铁轨螺栓预紧力的

方法主要是在高铁停止运营或运营的间隙依靠人工对其进行检查，这种方法

效率低下，设备复杂不够轻便。因此，急需一种高效率的螺栓预紧力检测传

感器，满足高效率、低成本、小型化的实用需求。

针对以上需求，本文提出一种面向高铁轨道螺栓预紧力检测的声表面波

传感器，对传感器的结构参数设计、加工工艺、温湿度补偿、器件老化补偿

等关键技术进行研究。为保证传感器的机电耦合系数与温度系数满足设计要

求，本文基于128°YX切型的LiNbO3基底材料，设计了谐振器型高铁轨道

螺栓预紧力检测传感器。将经验公式与有限元分析相结合，以实现传感器结

构的参数设计。通过研究微机电系统的光刻加工工艺，制作出了传感器的样

品。设计分析并制作封装结构实物，完成传感器系统整体结构的制作与装配。

将轨道扣件系统的结构进行简化，由电阻应变片搭建试验系统确定声表面波

传感器在扣件系统中的黏附位置。进行传感器测试系统软硬件系统的搭建，

并利用该系统测得传感器的基本性能指标。实验结果表明传感器在恒温恒湿

下的总精度为5.87%。采用差分法实现声表面波传感器的温度补偿与器件老

化补偿，并利用传感器裸片在螺栓扣件系统上进行预紧力检测实验，得到重

复性可达11.32%，验证差分法的有效性。

本文所设计的面向高铁轨道螺栓预紧力检测的声表面波传感器，实现了

对螺栓预紧力的测量功能，为现有测量方法耗费人力、效率低下的问题提出

了新的解决方向。通过针对性设计传感器的相关参数，也可将其应用于其他

螺栓部件的预紧力测量。

关键词：微机电系统；预紧力检测；声表面波传感器；温湿度补偿；器件老

化补偿

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Abstract

Abstract

Thehigh-speedrailwaytrackisfixedbyalargenumberofhighstrengthbolts.

Thehighspeedandheavyweightofhigh-speedtrainswillputforwardhigh

requirementsontrackbolts.Iftheboltislooseandthepreloadislessthanthe

idealvalue,therewillbealargesafetyhazard.Atpresent,themethodofdetecting

thepreloadofrailboltsismainlytorelyonmanualinspectioninthegapwhen

thehigh-speedrailwaystopsoperationbyusingultrasonicdetectionmethod.This

methodisinefficientandtheequipmentiscomplexandnotportableenough.

Therefore,thehigh-speedrailwayisinurgentneedofanefficientboltpreload

detectionsensor,whichcannotonlyensurelong-termreliablework,butalsomeet

thepracticalrequirementsoflowcost,miniaturizationandeasyoperation.

In