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探讨高端光学元件的超精密加工技术及其设备的发展趋势

目录

内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.1.1高端光学元件的应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.1.2超精密加工技术的必要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

1.2.1国外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

1.2.2国内研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

高端光学元件的超精密加工原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

2.1超精密加工的定义与特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

2.2主要加工方法及其原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

2.2.1超精密磨削技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

2.2.2超精密研磨技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

2.2.3超精密抛光技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

2.2.4干式/微量润滑加工技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

2.2.5特种加工技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

2.3影响加工精度的主要因素分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

2.3.1工艺系统误差．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

2.3.2环境因素影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

2.3.3材料特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

高端光学元件超精密加工设备关键技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

3.1高精度机床主轴系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

3.1.1主轴结构设计与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

3.1.2轴承技术及其应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

3.1.3主轴动态特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

3.2高精度运动控制系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

3.2.1进给系统设计与驱动技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

3.2.2控制算法与策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

3.2.3位置测量与反馈技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

3.3精密测量与检测技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

3.3.1表面形貌测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

3.3.2尺寸精度测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

3.3.3在线/在机测量技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54

3.4环境控制技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56

3.4.1温度控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56

3.4.2湿度控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58

3.4.3振动控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60

3.4.4粉尘控制．．．．．．．