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MOFs过滤器的MOS气敏传感器研究.pdf

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    摘要

    天然气的普及在解决一部分环境问题的同时也带来了很大的安全隐患，包括天

    然气泄漏和管道老化等，可能导致火灾甚至爆炸等严重后果。天然气的主要成分是

    甲烷，无色无味，在空气中有泄露后人们很难及时发现，这就提出了对甲烷气体泄

    漏实时监测的要求。金属氧化物半导体（Metal-OxideSemiconductor，MOS）传感器

    是常见的甲烷传感器，虽然具有低成本、小体积、易集成等优点，但其选择性较

    差，在实际应用中容易产生错误警报，并造成重大危害。为解决这一问题，本论文

    采用一种新型在片过滤结构，以金

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