材料分析测试方法第十五节电子显微镜的发展趋势 (2).pptVIP

（12）扫描探针显微镜的发展20世纪80年代后，由于压电传感器的发明，使得机械探针的定位性增强，研制出扫描隧道显微镜和原子力显微镜等新型扫描探针显微镜：扫描隧道显微镜：STM，ScanningTunnelingMicroscopy原子力显微镜：AFM，AtomicForceMicroscopy激光扫描共聚焦显微镜：CLSM，Confocallaserscanningmicroscopy扫描光子显微镜：SPM，ScanningPhotonMicroscope，near-fieldopticalmicroscopy扫描热显微镜：SThM，ScanningThermalmicroscopy静电力显微镜：EFM，ElectrostaticForceMicroscopy等十几种类型一、电子显微镜的发展*第27页，共43页，星期日，2025年，2月5日电子显微镜的发展趋势一、电子显微镜的发展二、现代电子显微镜*第28页，共43页，星期日，2025年，2月5日（1）高性能场发射枪电子显微镜日趋普及场发射电子枪能够提供高亮度、高相干性的电子光源，能在原子（纳米）尺度上对材料的原子排列和种类进行综合分析。九十年代中期，全世界只有几十台；现在已猛增至上千台。我国目前也有上百台以上场发射枪透射电子显微镜。常规的热钨灯丝（电子）枪电子显微镜，分辨率最高只能达到3.0nm；场发射枪电子显微镜，分辨率可以优于1.0nm，场发射高分辨透射电镜的分辨率达到0.2nm；超高分辨率的扫描电镜，其分辨率高达0.5nm-0.4nm。目前，JEOL的ARM-200F透射电镜分辨率可以达到0.08nm。二、现代电子显微镜*第29页，共43页，星期日，2025年，2月5日（2）发展新一代单色器、球差校正器，以进一步提高分辨率球差系数Cs：常规电镜的球差系数Cs约为mm级；现代电镜的球差系数已降低到Cs0.05mm。物镜球差校正器：把场发射透射电镜分辨率从点分辨率提高到信息分辨率，即从0.19nm提高到0.12nm甚至于小于0.1nm。聚光镜球差校正器：把STEM的分辨率提高到小于0.1nm的同时，聚光镜球差校正器把束流提高了至少10倍，非常有利于提高空间分辨率。在球差校正的同时，色差大约增大了30%左右。因此，校正球差的同时，也要同时考虑校正色差。二、现代电子显微镜*第30页，共43页，星期日，2025年，2月5日（2）发展新一代单色器、球差校正器，以进一步提高分辨率色差系数Cc：常规电镜的色差系数约为0.7mm；现代电镜的色差系数已减小到0.1mm。利用单色器（能量过滤器），能量分辨率将小于0.1eV，但单色器的束流只有不加单色器时的十分之一左右。因此利用单色器的同时，也要同时考虑单色器造成的束流减少的问题。二、现代电子显微镜*第31页，共43页，星期日，2025年，2月5日材料分析测试方法第十五节电子显微镜的发展趋势*第1页，共43页，星期日，2025年，2月5日电子显微镜的发展趋势一、电子显微镜的发展二、现代电子显微镜三、*第2页，共43页，星期日，2025年，2月5日一、电子显微镜的发展（1）电子的发现与晶体结构电子显微镜的发展，可远溯自1897年英国物理学家J.J.Thomson发现电子；发现磁场与电场对电子有偏折现象；1912年vonLaue发现X光衍射现象，经Bragg父子进一步发展，奠定X光的波动性和利用电磁波衍射测试晶体结构的方法；*第3页，共43页，星期日，2025年，2月5日（2）两个重要的发现1924年，法国科学家DeBrogli提出物质波理论；1926年，Schroedinger及Heisenberg等人发展量子力学，树立电子波粒二象性的理论基础。经100kV加速的电子，其波长为0.0037nm。电子既然有波动性，则应该有衍射现象；TEM等电子显微镜是量子力学发展的产物。一、电子显微镜的发展*第4页，共43页，星期日，2025年，2月5日（2）两个重要的发现德布罗意波的实验验证--电子衍射实验11927年，戴维森与革末（C.J.DavissonG.P.Germer）用电子束垂直投射到镍单晶，随着镍的取向变化，电子束的强度也在变化，这种现象很像一束波绕过障碍物时发生的衍射那样。其强度分布可用德布罗意关系和衍射理论给以解释。探测器电子束电子枪镍单晶图戴维森的低速电子衍射实验装置结构图一、电子显微镜的发展*第5页，共43页，星期日，2025年，2月5日（