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等离子束表面处理在金属领域的应用与研究进展

目录

内容简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1等离子束表面处理技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1.1等离子束技术的基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1.2等离子束表面处理技术的分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.2金属材料的表面改性需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.3等离子束表面处理在金属材料中的应用意义．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.4本文研究内容与结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

等离子束表面处理技术原理及设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.1等离子体物理基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.1.1等离子体的定义与特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.1.2等离子体中的粒子碰撞与能量传递．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.2等离子束表面处理原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

2.2.1等离子束与物质相互作用的机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

2.2.2表面改性过程中的物理化学过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

2.3等离子束表面处理设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

2.3.1等离子源类型及特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

2.3.2工艺参数对表面处理的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

2.3.3典型等离子束表面处理设备介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

等离子束表面处理在金属领域的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

3.1提高金属材料的耐磨性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

3.1.1等离子束氮化处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

3.1.2等离子束离子注入．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

3.1.3等离子束复合涂层技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

3.2增强金属材料的耐腐蚀性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

3.2.1等离子束氧．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

3.2.2等离子束非晶化处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

3.2.3等离子束改性不锈钢．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

3.3改善金属材料的表面性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

3.3.1等离子束表面织构化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

3.3.2等离子束表面净化与活化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

3.3.3等离子束沉积功能薄膜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

3.4等离子束表面处理在其他领域的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

等离子束表面处理的研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

4.1新型等离子束表面处理技术的研发．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

4.1.1高能离子束表面处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

4.1.2激光等离子体表面处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

4.2等离子束表面处理工艺的优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

4.2.1工艺参数的精确控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54

4.2.2处理过程的在线监测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56

4.3等离子束表面处理机理的深入研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．