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哈尔滨工业大学工学硕士学位论文
摘要
磁控溅射MoS薄膜被广泛应用于空间飞行器活动部件，但目前关于低能质子
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辐照对磁控溅射MoS薄膜微观组织结构的影响机制的研究相对较少。本文分别借
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助扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪（XPS）、透
射电子显微镜(TEM)等多种手段对低能质子辐照后磁控溅射MoS薄膜的微观组
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织结构进行分析；利用轮廓仪和销盘式摩擦磨损试验机对辐照前后薄膜的粗糙度
以及摩擦磨损性能进行测试。
研究结果表明，经质子辐照后，磁控溅射MoS2薄膜内会产大量的缺陷，随着
辐照注量的增大MoS薄膜内晶体结构的有序化程度逐渐降低，产生大量空位和位
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移等缺陷，而这些缺陷在辐照作用下倾向于发生团聚，使晶格发生畸变发生层片
卷曲收缩形成的纳米微球;同时，质子辐照除了对MoS薄膜内部的组织结构产生
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较大的影响以外，同时也会产生较强的溅射作用，随着辐照注量的增大溅射程度
也略有增大，使得辐照前后MoS2表面粗糙度产生较大变化。
经质子辐照后，摩擦学性能出现了规律性变化。辐照MoS2薄膜的平均摩擦系
数、最大摩擦系数和磨损量均呈现先增大后降低的趋势。通过分析对比，当质子
辐照处于较低注量时，摩擦方式主要是剥层和粘着摩擦机制，塑性变形和粗糙度
的迅速增加造成了摩擦系数和磨损量快速升高；当质子辐照处于较高注量时，以
小剥层磨损机制为主。同时，辐照诱发的显微组织细化及其滚动效应有利于摩擦
界面的材料逆转移，导致磨损表面光滑，有利于降低磨损。
关键词：MoS2薄膜；质子辐照；晶体结构；摩擦；磨损
I
哈尔滨工业大学工学硕士学位论文
Abstract
ThemagnetronsputteringMoSfilmsarewidelyusedinthemovingcomponents
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ofthespacecraft.However,theresearchontheinfluencemechanismofthelow-energy
protonirradiationonthemicrostructureofmagnetronsputteringMoSfilmisrelatively
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less.Inthispaper,themicrostructureofmagnetronsputteringMoSfilmswere
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analyzedbymeansofscanningelectronmicroscopy(SEM),Xraydiffractometer
(XRD),Xrayphotoelectronspectroscopy(XPS),transmissionelectronmicroscope
(TEM)etc.Theprofilometerandthepin-on-diskfrictionandweartestmachinewere
usedtomeasuretheroughness,frictionandwearpropertiesofthefilmsbeforeand
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