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陀螺仪发展趋势主讲教师：《无人机传感器技术》
MEMS陀螺仪1发展趋势2目录
MEMS陀螺仪01
MEMS陀螺仪1.1概述依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。集机械元素、微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体。将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号。通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、LIGA技术、封装技术等批量生产。
MEMS陀螺仪2.1种类及特性可靠性好，工作寿命超过10万小时，能承受1000g的冲击测量范围大体积小、重量轻，其边长都小于1mm，器件核心的重量仅为1.2mg成本低√√√√主要特点
发展趋势02
发展趋势2.1氦-氖环形激光陀螺仪优点：无机械转子，结构简单（少于20个部件）抗振动性能好启动快可靠性高数字输出
发展趋势2.1氦-氖环形激光陀螺仪基于氦-氖环形激光陀螺仪的惯性导航系统已经广泛应用在航空和航海导航、战略导弹的导航、制导与控制领域，成为主要的高性能陀螺仪之一。
发展趋势2.2光纤陀螺仪目前，最为常见的光纤陀螺仪是相敏光纤陀螺仪，通过测量在一个光纤线圈中的两束反向传播光束的相移以敏感载体转动，从而计算出其角速率。
发展趋势2.2光纤陀螺仪光纤陀螺仪的精度主要取决于其采用的光纤种类和光电检测系统，偏值一般处于0.001度/时-0.0002度/时之间。广泛应用于鱼雷、战术导弹、潜艇和航天器等。
发展趋势2.3集成光学陀螺仪将几毫米直径的集成环形腔激光器、光电检测电路都集成在同一芯片上，作为集成光学陀螺仪的敏感元件。减小质量和尺寸，降低成本和功耗，更好地控制热效应，增加可靠性，具有良好的发展前景。
《无人机传感器技术》谢谢观看
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