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脉冲调制射频感应耦合等离子体放电特性的数值模拟研究
一、引言
脉冲调制射频感应耦合等离子体（PulsedModulatedRadioFrequencyInductivelyCoupledPlasma，PM-RF-ICP）作为一种重要的等离子体源，在材料处理、半导体制造、等离子体工艺等领域具有广泛的应用。其放电特性的研究对于提高等离子体工艺的效率和稳定性具有重要意义。本文将通过数值模拟的方法，对PM-RF-ICP的放电特性进行研究，以期为相关领域的研究和应用提供理论支持。
二、文献综述
近年来，关于ICP的研究逐渐增多，特别是在等离子体放电特性、等离子体与物质相互作用等方面取得了显著
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