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单晶硅精密磨削损伤机理与工艺参数优化研究
目录
内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
1.5论文结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
单晶硅材料及精密磨削工艺基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
2.1单晶硅材料特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
2.1.1物理性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
2.1.2化学性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
2.1.3磨削加工难点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
2.2精密磨削原理与过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
2.2.1磨削力产生机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
2.2.2磨削热产生与传递．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
2.2.3磨削表面完整性概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
单晶硅精密磨削损伤类型与特征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
3.1磨削损伤分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
3.1.1微裂纹．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
3.1.2残余应力．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
3.1.3表面粗糙度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
3.1.4边缘圆角．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
3.2损伤形成机理分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
3.2.1机械作用分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
3.2.2热作用分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
3.2.3化学作用分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
单晶硅精密磨削损伤影响因素分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
4.1磨削参数影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
4.1.1磨削速度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
4.1.2进给率．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
4.1.3切削深度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
4.2磨削条件影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
4.2.1砂轮特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
4.2.2冷却润滑液．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52
4.2.3工件装夹方式．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
基于有限元仿真的损伤机理研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
5.1有限元模型建立．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
5.1.1几何模型构建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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