原创力文档集成电路
制造技术
集成电路
制造技术
JICHENGDIANLU
ZHIZAOJISHU
——原理与工艺
工艺监控与系列实验
JICHENGDIANLU
ZHIZAOJISHU
第六单元
工艺监控就是借助于一整套检测技术和专用设备，监控整个生产过程，在工艺过程中，连续提取工艺参数，在工艺结束时，对工艺流程进行评估。
材料检测材料主要有高纯水、高纯气体、扩散源、硅抛光片等，在材料使用前进行质检，在工艺过程中进行定期抽检。
工艺检测可分为4类：
①硅片晶格完整性、缺陷等物理量的测定；
②薄膜厚度、结深、图形尺寸等几何线度的测量；
③薄膜组份、腐蚀速
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