声表面波和声表面波器件的概况.pptVIP

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一周期三指条色散曲线一周期三指条色散曲线第62页,共120页,星期日,2025年,2月5日有源情况下非齐次方程的解先求特解再求通解第63页,共120页,星期日,2025年,2月5日有源情况下非齐次方程的特解齐次方程特解假设非齐次方程特解第64页,共120页,星期日,2025年,2月5日有源情况下非齐次方程的特解代入COM模型的基本方程第65页,共120页,星期日,2025年,2月5日有源情况下非齐次方程的特解得到第66页,共120页,星期日,2025年,2月5日有源情况下非齐次方程的特解设第67页,共120页,星期日,2025年,2月5日有源情况下非齐次方程的特解解得第68页,共120页,星期日,2025年,2月5日有源情况下非齐次方程的特解得到特解第69页,共120页,星期日,2025年,2月5日有源情况下非齐次方程的全解全解是特解加通解第70页,共120页,星期日,2025年,2月5日换能器的激发设无声波入射,用以下方程作为边界条件代入对均匀换能器求解激发输出和第71页,共120页,星期日,2025年,2月5日均匀换能器的激发第72页,共120页,星期日,2025年,2月5日指间多次反射效应对双向性换能器激发的影响与没有指间多次反射效应的响应作比较,峰值增大,峰值处频率下移(设k为负),频率响应变得不对称。旁瓣影响不大。指对数愈多,畸变愈严重第73页,共120页,星期日,2025年,2月5日指间多次反射效应对双向性换能器激发的影响第74页,共120页,星期日,2025年,2月5日换能器的单向性两个方向输出之比在中心频率处该比值当a与k的相位角差45度时达到最大,即单向性最大。第75页,共120页,星期日,2025年,2月5日换能器的单向性当k和a的相位差为时,两个方向所激发声振幅之比为第76页,共120页,星期日,2025年,2月5日不加权SPUDT滤波器的理论曲线第77页,共120页,星期日,2025年,2月5日不加权SPUDT滤波器的实验曲线正向第78页,共120页,星期日,2025年,2月5日不加权SPUDT滤波器的实验曲线反向第79页,共120页,星期日,2025年,2月5日COM参量和COM参量的提取大量的研究,最主要:实验提取—用专门设计的测试结构的电性能来提取。优点是对器件直接感兴趣的就是其电性能。缺点是成本贵、化时间,而且工艺误差影响参量精度。理论计算—有限元或格林函数法。九十年代大力发展。大公司必备第80页,共120页,星期日,2025年,2月5日COM参量和COM参量的提取实验测试结构IEEEUltrasonicsSymposiumProc.1239,1993第81页,共120页,星期日,2025年,2月5日格林函数法提取COM参量周期格林函数法求谐波导纳由谐波导纳求得色散曲线由色散曲线找到禁带边缘处的频率fh、fl中心频率k的相位由禁带边缘波腹、波节的位置决定。第82页,共120页,星期日,2025年,2月5日格林函数法提取COM参量在禁带边缘处,,D=0,衰减为零。得到 声振动分布为R+S, 第83页,共120页,星期日,2025年,2月5日格林函数法提取COM参量在阻带上边缘阻带下边缘波腹、波节的位置决定了k的相位第84页,共120页,星期日,2025年,2月5日SPUDT和谐振器的根本区别换能器之间紧密联系或相互基本独立源内阻对输出阻抗的影响或负载对输入阻抗的影响外加调谐匹配电路与否谐振器损耗小谐振器阻带抑制差第30页,共120页,星期日,2025年,2月5日谐振器的致命缺点谐振腔的长度决定了多个共振峰的间距。长度越长间距越远。保持反射栅和换能器同步是改进性能的重要措施。简单单模谐振器的带宽很窄,要求宽带时采用多模耦合,最常用的是双模谐振器(DMS)。DMS的最新发展是EPCOS的专利。第31页,共120页,星期日,2025年,2月5日EPCOS专利DMS结构示意图第32页,共120页,星期日,2025年,2月5日EPCOS专利DMS结构的周期变化第33页,共120页,星期日,2025年,2月5日EPCOS专利EPCOS专利第34页,共120页,星期日,2025年,2月5日器件的模型和模拟P矩阵级联—速度快、不精确计算用的COM参量由周期格林函数计算确定有限指条的格林函数模拟—慢、精确实际设计中两者结合起来进行优化第35页,共

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