低能离子注入对多主元合金纤维微观组织及力学性能的改性机制研究.docxVIP

低能离子注入对多主元合金纤维微观组织及力学性能的改性机制研究

目录

一、内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

研究背景及意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1低能离子注入技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.2多主元合金纤维的应用及挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

1.3研究目的与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

国内外研究现状及发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.1低能离子注入技术发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.2多主元合金纤维改性研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

2.3发展趋势及挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

二、低能离子注入技术原理及设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

低能离子注入技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

1.1离子注入的基本过程．．．