膜片式液压微位移执行器设计与特性分析.pdfVIP

４８９液压与气动Ｖｏｌ．４８Ｎｏ．９

第卷第期

２０２４９

年月ＣｈｉｎｅｓｅＨｙｄｒａｕｌｉｃｓ＆ＰｎｅｕｍａｔｉｃｓＳｅｐｔｅｍｂｅｒ．２０２４

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ｄｏｉ∶１０．１１８３２／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００－４８５８．２０２４．０９．００３

膜片式液压微位移执行器设计与特性分析

１，２１，２１，２

，，

贺伟国凯孙杰

（１．，２５００６１；

山东大学高效洁净机械制造教育部重点实验室山东济南

２．，２５００６１）

山东大学机械工程学院山东济南

：，、

摘要微位移执行器是实现高精度控制的关键装置广泛应用于精密伺服系统芯片生产以及超精密

。、、，

加工领域针对传统微位移执行器结构复杂输出力小行程短等问题提出基于帕斯卡原理的膜片式液压

。，，－

微位移执行器首先建立了复合载荷下执行器的力学模型并采用逐次修正法推导了应力应变的迭代求

。，。，

解式其次研究了执行器关键参数对执行器行程和应力的影响规律在此基础上建立了以材料强度和设

。，－

计行程为约束的膜片式液压执行器的优化设计流程最后通过有限元仿真验证了执行器的驱动压力位

、。，－，４０ｍ／ｍｍ

移特性行程及负载能力结果表明执行器表现出良好的驱动压力位移线性关系此外其μ的

。４ＭＰａ，１ｍｍ，１０７９０Ｎ

伸长率远优于压电陶瓷在的驱动压力下执行器可实现的行程并提供最大的输出

，５３９５Ｎ０．５ｍｍ。

力即使在外负载为时仍能保持的行程

：；；

关键词微位移膜片式液压执行器

中图分类号：ＴＨ１３７文献标志码：Ｂ文章编号：１０００４８５８（２０２４）０９００１８０７

ＤｅｓｉｇｎａｎｄＣｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎｏｆａＤｉａｐｈｒａｇｍｔｙｐｅＨｙｄｒａｕｌｉｃ

ＭｉｃｒｏｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔＡｃｔｕａｔｏｒ