24-微电子技术概论-0714004936-教学大纲.pdfVIP

《微电子技术概论》课程教学大纲

（IntroductionofMicroelectronicsTechnology）

一、课程基本信息

课程编号：0714004936

学分：1

学时：16（课堂教学16学时）

课程团队：刘延武

课程性质：■公共基础□通识教育□学科基础□专业核心□专业拓展

课程属性：■必修□选修

开课学期：第6学期

学生类别：本科生

适用专业：电子信息工程专业

先修课程：电路、大学物理等课程

课程归属：信息与电子工程学院

二、课程简介

本课程学习晶体管的发明和集成电路的发展史、器件物理基础、氧化、扩散、离子注入、物理

气相淀积、化学气相淀积、外延、光刻与刻蚀、金属化与多层互联、集成器件和电路设计以及ASIC

设计方法，既着重不同工艺的基本原理和工艺参数，也着重于学生掌握集成电路制造的集成工艺。

培养学生科学思维能力、在实践中主动获取知识的能力、综合应用知识的能力和创新能力。

三、课程目标及对毕业要求指标点的支撑

表1课程目标及其对毕业要求指标点的支撑

课程目标支撑毕业要求指标点毕业要求

目标1：能够识别、评价复杂集成电指标点7.1(0.1)：理解环境

路制造过程中工程问题中的基本工保护和社会可持续发展的

艺，判断影响工艺的关键环节和参内涵和意义，熟悉环境保护

数并进行优化，体现批判性和创造的相关法律法规；毕业要求7.环境和可持续发

性，形成严谨认真、实事求是的科学展：能够理解和评价针对电子

态度。信息系统复杂工程问题中工程

目标2：能够根据不同制造工艺方指标点7.2(0.1)：能够正确实践对环境、社会可持续发展

案，结合不同器件或集成电路设计理解并合理评价针对复杂的影响。

要求，开展微电子工艺集成方案设工程问题的工程实践对环

计，并根据集成电路设计要求，优化境、社会可持续发展的影

工艺参数，实现集成电路的制造。响。

目标3：能够查阅学习国外资料，具指标点10.3(0.2)：具有较10.沟通：能够就电子信息系统

1

课程目标支撑毕业要求指标点毕业要求

备了解跟踪最新集成电路知识的能强的英语交流能力和一定复杂工程问题通过撰写报告、

力，具备用文字汇报交流的能力。的国际视野，了解电子信息设计文稿、陈述发言、清晰表

领域的国际发展趋势、研究达或回应指令等与业界同行及

热点，能够在跨文化背景下社会公众进行有效沟通和交

进行有效沟通和交流。流，并具备一定的国际视野，

能够在跨文化背景下进行沟通

和交流。

四、课程内容及要求

表2课程内容及预期目标

序支撑课

教学内容思政元素预期