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基于EIT技术的MEMS传感方法：原理、应用与创新发展

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystem）技术和电阻抗断层成像（EIT，ElectricalImpedanceTomography）技术在各自领域取得了显著进展。MEMS技术作为一种将微电子技术与机械工程融合的工业技术，其操作范围在微米量级，能够制造出集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。凭借着微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产等优势，MEMS传感器在消费电子、汽