特种气体系统工程技术标准.docxVIP

·1·

1总则

1.0.1为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准。

1.0.2本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、施工和验收。

1.0.3本标准不适用于特种气体的制取、提纯、灌装等生产及配套装置的工程设计、施工和验收。

1.0.4特种气体系统工程的设计、施工及验收除应符合本标准的规定外，尚应符合国家现行有关标准的规定。

·2·

2术语

2.0.1特种气体specialtygas

电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。

2.0.2自燃性气体pyrophoricgas

也称作发火气体，是指在空气中等于或低于54℃时可能自燃的易燃气体。

2.0.3易燃性气体flammablegas

一种在20℃和标准压力101.3kPa状态时空气混合有一定易燃范围的气体。

2.0.4剧毒性气体highlytoxicgas

半致死浓度(空气中吸入4h)小于或等于100mL/m3的气体。

2.0.5毒性气体toxicgas

半致死浓度(空气中吸入4h)大于100mL/m3但不超过2500mL/m3的气体。

2.0.6腐蚀性气体corrosivegas

对材料或人体组织通过接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆变化的气体。

2.0.7氧化性气体oxidizinggas

一般通过提供氧气，比空气更能导致和促使其他物质燃烧的任何气体。

2.0.8惰性气体inertgas

在一般情况下不会与其他物质产生化学反应的气体。

2.0.9低蒸汽压力气体lowvaporpressuregas

·3·

在室温下的饱和蒸气压小于0.2MPa的气体。

2.0.10特种气体系统specialtygassystem

特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和附件的总称。

2.0.11大宗硅烷系统bulksilanesystem

是指包括ISO标准集装瓶组、长管拖车、钢瓶集装格、Y型卧式钢瓶，或总的水容积超过250L的硅烷系统。

2.0.12大宗特种气体系统bulkspeciallygassystem

一般指单个气体设备容积大于400L的特种气体储存和送气系统。

2.0.13液态特种气体系统liquidspecialtygassystem

是指以液态输送、分配，在用户终端进行汽化的特种气体系统。

2.0.14气体探测系统gasdetectorsystem(GDS)

设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘及其他特种气体输送设备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体在空气中的浓度来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供探测数据的系统。

2.0.15气体管理系统gasmanagementsystem(GMS)

包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据传输与处理系统的气体管理与控制系统的统称。

2.0.16生产区fabricationarea

电子生产厂房内布置生产设备及相关的研发、测试的区域，有些生产过程将使用危险性生产材料，该区域为生产厂房的核心区域。

2.0.17特种气体间specialtygasroom

电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格、尾气处理装置等气体设备，并通过管道向生产设备输送特种气体的房间。

·4·

2.0.18特种气体站specialtygasstation

电子工厂放置卧式气瓶、气瓶集装格、ISO标准集装瓶组、长管拖车、尾气处理装置等气体设备，并通过管道向用生产厂房气设备输送特种气体的独立建(构)筑物。

2.0.19特种气体站房specialtygasstationandroom是指在电子工厂特种气体间与特种气体站的统称。

2.0.20硅烷站silanestation

是指放置硅烷或硅烷混合气体钢瓶、钢瓶集装格、卧式钢瓶、长管拖车或ISO标准集装瓶组、硅烷气化装置、尾气处理装置、电气