《金刚石单晶表面应力分布测定 拉曼光谱法》.docxVIP

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团体标准

T/IAWBS023-2025

金刚石单晶表面应力分布测定拉曼光谱法

2025-09-24发布2025-10-10实施

2025-09-24发布

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟发布

I

T/IAWBS023—2025

目次

前言 I

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4方法原理

5干扰因素 2

6试剂 2

7仪器设备 2

8测试环境 2

9测试样品 3

10样品清洗 3

11测试程序 3

12精密度 4

13测试报告 4

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II

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件中的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本文件由中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟归口。

本文件起草单位：中国科学院半导体研究所，德州学院，堀场(中国)贸易有限公司，中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟，江苏卓远半导体有限责任公司，北京聚睿众邦科技有限公司，吉林大学，河南六面顶新材料科技有限公司。

本文件主要起草人：曹繁秋、霍晓迪、金鹏、郑红军、李国平、闫方亮、屈鹏霏、王镇、沈婧、胡恩萍、李红东、刘祎晨，陈健。

本文件为首次制定。

1

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金刚石单晶表面应力分布测定拉曼光谱法

1范围

本文件规定了立方金刚石单晶表面应力分布的测试方法。

本文件适用于立方金刚石单晶表面应力分布的测试。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改版)适用于本文件。

GB/T678化学试剂乙醇(无水乙醇)

GB/T686化学试剂丙酮

GB/T3505产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数

GB/T6379.2测量方法与结果的准确度(正确度与精密度)

GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法

GB/T8979纯氮、高纯氮和超纯氮

GB/T14264半导体材料术语

JJF1544拉曼光谱仪校准规范计量特性和校准要求

3术语和定义

GB/T14264和JJF1544确立的术语和定义适用于本文件。

4方法原理

存在应力时拉曼特征峰的峰位(即拉曼频移)相对于无应力时的峰位会发生移动，利用该原理可以测定表面应力的数值和符号(拉应力为“+”、压应力为“-”)。对于立方金刚石单晶，其元胞中含有两个碳原子，具有三度简并一阶声子振动模T,其拉曼频移在无应力状态下为1332cm-1。

表面应力与有无应力时的拉曼频移差值具有线性关系：

(1)

其中：

——表面应力，单位为吉帕(GPa);

o——金刚石单晶无应力时的拉曼频移(1332cm?1),单位为波数(cm?1);

——金刚石单晶存在表面应力时的拉曼频移，单位为波数(cm?1);

——应力因子，单位为波数·每吉帕(cm1·GPa1)。

对于立方金刚石单晶(100)、(110)和(111)三种常用晶面，其应力因子分别为：

(100)=-0.768cm-1·GPa-1(2)

(110)=-2.318cm-1·GPa-1(3)

(111)=-0.015cm-1·GPa-1(4)

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2

当金刚石单晶受到压应力时，拉曼频移向高波数方向移动；反之，当金刚石单晶受到拉应力时，拉曼频移向低波数方向移动。

因此，对金刚石单晶表面进行拉曼光谱的二维扫描测试就能获得表面应力分布。

5干扰因素

5.1测试仪器的因素

拉曼光谱仪的拉曼频移精度、相对强度精度、光谱分辨力等对测试结果均