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ICS29.045
H80/84
团体标准
T/IAWBS024-2025
金刚石单晶中石墨相的相对
含量测定拉曼光谱法
Measurementofgraphite-phaserelative
contentindiamondsinglecrystal-Raman
spectroscopymethod
2025-09-24发布2025-10-10实
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟发布
T/IAWBS024—2025
目次
前言I
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义
4方法原理1
5干扰因素2
6试剂2
7仪器设备2
8测试环境2
9测试样品2
10样品清洗3
11测试程序3
12精密度4
13测试报告4
I
T/IAWBS024—2025
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规
则》的规定起草。
请注意本文件中的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的
责任。
本文件由中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟归口。
本文件起草单位：德州学院，中国科学院半导体研究所，堀场(中国)贸易有限公司，
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟，江苏卓远半导体有限责任公司，北京聚睿众邦科
技有限公司，吉林大学，河南六面顶新材料科技有限公司。
本文件主要起草人：霍晓迪、曹繁秋、金鹏、郑红军、李国平、闫方亮、王镇、屈鹏
霏、沈婧、胡恩萍、李红东、刘祎晨、陈健。
本文件为首次制定。
II
T/IAWBS024—2025
金刚石单晶中石墨相的相对含量测定拉曼光谱法
1范围
本文件规定了立方金刚石单晶中石墨相的相对含量测试方法。
本文件适用于立方金刚石单晶中石墨相的相对含量测试。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文
件。
GB/T678化学试剂乙醇(无水乙醇)
GB/T686化学试剂丙酮
GB/T3505产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数
GB/T6379.2测量方法与结果的准确度(正确度与精密度)
GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法
GB/T14264半导体材料术语
GB/T8979纯氮、高纯氮和超纯氮
JJF15
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