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1摻質材料3ElectronicMaterials電子材料
圖3.1(a)完全鍵結的矽，(b)摻入硼成為p-Si，(c)摻入砷成為n-Si
圖3.2磊晶在CMOS的例子3
圖3.3磊晶晶片4
圖3.4三種形式的擴散源8
(續)圖3.4三種形式的擴散源
圖3.5各種摻質在矽中的固態溶解度
圖3.6離子植入機的概略圖(德州大學之400KeV機器)
圖3.7三氟化硼解離後的譜圖13
圖3.8(a)退火(anneal)後使矽晶再結晶
(續)圖3.8(b)退火後硼植入的濃度側繪圖
圖3.9通道效應17
圖3.10(a)西貝克效應，(b)皮爾第效應
圖3.11質流控制器(a)概略結構圖，(b)測溫電路
圖3.12氣體儲櫃的外觀20
圖3.13氣體連鎖系統22
圖3.14電子簇射器25
圖3.15斜角研磨26
圖3.16電容－電壓圖
28圖3.17(a)傳統的MOS電容，(b)壕溝電容
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