掺铒富硅氧化硅薄膜光学性能的多维度探究与机制解析.docx

下载文档

0
0
约3.33万字
约 25页
2025-09-28 发布于上海
举报
版权申诉
保障服务

掺铒富硅氧化硅薄膜光学性能的多维度探究与机制解析.docx

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

掺铒富硅氧化硅薄膜光学性能的多维度探究与机制解析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，对信息传输速度和处理能力的要求日益提高，硅基光子学应运而生，成为了当今光电子领域的研究热点。硅基光子学旨在将光子技术与成熟的硅基微电子工艺相结合，实现光电子器件的高度集成，以满足未来高速、大容量信息传输和处理的需求。这一领域的发展有望解决传统微电子技术在信号传输速度和功耗等方面面临的瓶颈问题，为实现全光通信和高性能计算提供关键技术支持。

在硅基光子学的众多研究方向中，硅基光源的研发是实现硅基光电集成的核心与关键。然而，硅作为一种间接带隙半导体材料，其带间辐射复合效率极低，难以直接产生高效