固态图像传感器.ppt

数码相机的外形§11.4图像传感器的应用第30页，共44页，星期日，2025年，2月5日三基色分离原理CCD数码照相机的结构§11.4图像传感器的应用第31页，共44页，星期日，2025年，2月5日北京工业大学机电学院胥永刚胥永刚胥永刚制固态图像传感器第1页，共44页，星期日，2025年，2月5日第十一章固态图像传感器器电荷耦合器件的工作原理电荷耦合器件的结构及分类图像传感器性能参数图像传感器的应用本章内容：测试技术基础第2页，共44页，星期日，2025年，2月5日固态图像传感器：一种固态集成元件，其核心部分是电荷耦合器件(ChargeCoupledDevice，CCD)。CCD：以阵列形式排列在衬底材料上的金属——氧化物——硅(MetalOxideSemiconductor，简称MOS)电容器件组成的，具有光生电荷、积蓄和转移电荷的功能。固态图像传感器的分类：线阵型：目前一般有1024、1728、2048和4096个像素的传感器；面阵型：从512×512一直到512×768个像素的，最高分辨力的可达2048×2048个像素的。测量技术基础第3页，共44页，星期日，2025年，2月5日在半导体硅片上按线阵或面阵排列MOS单元，如果照射在这些光敏元上的是一幅明暗起伏的图像，则这些光敏元上就会感生出一幅与光照强度相对应的光生电荷图像。123456789测量技术基础第4页，共44页，星期日，2025年，2月5日特点:(1)非接触检测；(2)响应快；(3)可靠性高，维修简便；(4)测量精度高；(5)体积小，重量轻；容易与计算机连接；(6)对被测物体需要强光照射；(7)受被测物体以外的光的影响。测量技术基础第5页，共44页，星期日，2025年，2月5日应用：(1)宽度测量(2)外径测量(4)条形码扫描器(3)主轴径向跳动测量测量技术基础第6页，共44页，星期日，2025年，2月5日一个完整的CCD器件由光敏元、转移栅、移位寄存器及一些辅助输入、输出电路组成。CCD工作时，在设定的积分时间内，光敏元对光信号进行取样，将光的强弱转换为各光敏元的电荷量。取样结束后，各光敏元的电荷在转移栅信号驱动下，转移到CCD内部的移位寄存器相应单元中。移位寄存器在驱动时钟的作用下，将信号电荷顺次转移到输出端。输出信号可接到示波器、图象显示器或其他信号存储、处理设备中，可对信号再现或进行存储处理。§11.1CCD的基本工作原理第7页，共44页，星期日，2025年，2月5日(a)MOS光敏单元(b)1024单元阵列(c)线阵式摄像机§11.1CCD的基本工作原理第8页，共44页，星期日，2025年，2月5日MOS电容器组成的光敏元及数据面的显微照片CCD光敏元显微照片CCD读出移位寄存器的数据面显微照片§11.1CCD的基本工作原理第9页，共44页，星期日，2025年，2月5日CMOS图像传感器CMOS图像传感器是采用互补金属-氧化物-半导体工艺制作的另一类图像传感器，简称CMOS。现在市售的视频摄像头多使用CMOS作为光电转换器件。虽然目前的CMOS图像传感器成像质量比CCD略低，但CMOS具有体积小、耗电量小、售价便宜的优点。随着硅晶圆加工技术的进步，CMOS的各项技术指标有望超过CCD，它在图像传感器中的应用也将日趋广泛。尼康DSC中的CMOS§11.1CCD的基本工作原理第10页，共44页，星期日，2025年，2月5日1)线阵CCD外形§11.2CCD图像传感器的分类第11页，共44页，星期日，2025年，2月5日1－CCD转移寄存器2－转移控制栅3－积蓄控制电极4—PD阵列SH—转移控制栅输入端RS—复位控制VOD—漏极输出OS—图像信号输出OG—输出控制栅线型图像传感器结构1)线阵CCD外形§11.2CCD图像传感器的分类第12页，共44页，星期日，2025年，2月5日2)面阵CCD面阵CCD能在x、y两个方向都能实现电子自扫描，可以获得二维图像§11.2CCD图像传感器的分类第13页，共44页，星期日，2025年，2月5日200万和1600万像素的面阵CCD2)面阵CCD§11.2CCD图像