微机电系统及其应用.pdf

第卷第期湖北工业大学学报年月

205200510

Vol.20No.5JournalofHubeiUniversitofTechnoloOct.2005

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[文章编号]()

1003-4684200510-0001-05

微机电系统及其应用

122

史铁林,钟飞,何涛

(华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉;湖北工业大学机械工程学院,湖北武汉)

14300742430068

[摘要]概述了微机电系统()的发展历史及基本技术原理,介绍了技术在航空航天、医药卫

MEMSMEMS

生、光学器件、微能源等方面的应用情况,并对其以后的发展作出展望.

[关键词]微机电系统;;

ICLIGA

[中图分类号][文献标识码]:

TN454A

型机械研究,积极开展的研究现有的微电

MEMS.

1微机电系统发展概况子设备和同步加速器为微系统提供了基本条件,微

细驱动器和微型机器人的开发早已列入国家高

863

微机电系统(技术计划及攀登计划中已有近个研究小组,

MicroElectroMechanicalSs-

yB.40

,简称)是通过微制造技术将机械单元、取得了一些研究成果广东工业大学与日本筑波大

temsMEMS

.

传感器、执行器件和电子元件整合到一片微基板上学合作,开展了生物和医用微型机器人的研究,已研

的系统装置这种新兴的机电系统为传统机械科学制出一维、二维联动压电陶瓷驱动器,其位移范围为

.

的发展指明了一个重要的前进方向.10m×10m;位移分辨率为0.01m,精度为