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DOI:10.13667/j.cnki.52-1046/th.2007.04.021
·76·20074
:1002-6886(2007)04-0076-03
,,
(四川大学制造科学与工程学院,四川成都610065)
:微细加工技术是现代加工技术手段的新发展,是二十一世纪关键技术之一。本文介绍了微机械与微细加工技术的
发展过程、技术特点以及相关理论基础,并具体阐述了微细加工技术的应用、发展的意义、存在的问题及发展要求。
:微细加工微机械微机电微电子
DevelopmentandApllicationofMicroManufacturingTechnology
IJian-xun,HUXiao-bing,YANGYang
Abstrac:tMicromanufacturingtechnologyisthenewdevelopmentofmethodformanufacturetechnologytoda,yandalsoisoneof
thekeytechnologyintwenty-onecentury.Thedevelopingprocess,technicalfeaturesandthebaseofcorrelationtheoryoftheMicro
machineandMicroManufacturingTechnologyareintroducedonthispape,randtheapplication,developmentsignificanc,equestion,sthe
requestingfordevelopmentarealsoexpoundedindetai.l
Keyword:smicromanufacturing;micromachine;microelectromechani;cmicroelectron
2080、(Micro3000“”。
ElectroMechanicalSystem,MEMS),198810,IGA
,、(ithographie(),Galvanoformung(),
,。Abformung()),
,、、;1993“”;
,
,、、MEMS;。
、、、、,1993,MEMS
、、,,EUROPRACTICENEXUS,
21。MEMS。,
,、、
1[1]
。
1.11.2
:、,:
、、,(1mm～10mm)、(1μm～1mm)
。/(1nm～1μm)。:
,1)
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