基于多品种变批量生产模式的混合集成电路快速换线技术分析.pdfVIP

工艺与制造ProcessandFabrication

基于多品种变批量生产模式的混合集成

电路快速换线技术分析

周长健，王腾，雷子薇，杨旭杰

（中国电子科技集团公司第四十三研究所，安徽230088）

摘要：阐述多品种变批量的混合集成电路生产模式，包括精益生产和快速换模定义、HIC自动化生产工序

换线方式，通过区分内外换线，形成适用混合集成电路生产的快速换线方法。

关键词：集成电路制造，精益生产，快速换线，标准化。

中图分类号：TN405文章编号：1674-2583(2023)04-0054-02

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2023.04.018

文献引用格式：周长健，王腾，雷子薇，杨旭杰.基于多品种变批量生产模式的混合集成电路快速换线技

术分析[J].集成电路应用,2023,40(04):54-55.

AnalysisofFastLineSwitchingforHybridIntegrated

CircuitsBasedonMulti-varietyVariableBatchProduction

ZHOUChangjian,WANGTeng,LEIZiwei,YANGXujie

(The43rdResearchInstituteofCETC,Anhui230088,China.)

Abstract—Thispaperdescribestheproductionmodeofhybridintegratedcircuitswithmultiple

varietiesandvariablebatches,includingthedefinitionofleanproductionandrapidmoldchange,the

HICautomatedproductionprocesslinechangemethod,andtheformationofafastlinechangemethod

suitableforhybridintegratedcircuitproductionbydistinguishingbetweeninternalandexternalline

changes.

IndexTerms—integratedcircuitmanufacturing,leanproduction,rapidlineswitching,standardization.

0引言善空间，尤其是针对内部换模时间。基于基础IE，

混合集成电路（HIC）技术是微电子技术的重快速换模采取ECRS、5W1H等方法对过程进行分析。

要组成部分，是利用半导体集成工艺与薄厚膜工2混合集成电路快速换线

艺，将多个分立的半导体芯片、单片集成电路和微快速换线的定义。快速换线（QuickChange

型元件高密度组装在同一基板上，然后外加封装而Over，QCO）是一个系统的过程，旨在缩短产品间

成。在生产模式上具有多型号同时要求交货、生产切换的时间，目标是尽可能短的时间实现切换后生

过程易反复、多型号频繁更换、生产过程不连续、产出合格产品。快速换线不同于快速换模，快速换

工艺周期长等特点[1,2]。本文针对上述特点，对生模更注重于单个设备的切换，将设备作为研究对象

产作业快速换线技术进行了进一步的研究，建立了来做，而快速换线是将一条产品线作为研究对象。

标准化换线作业流程，为实现产品的柔性生产提供混合集成电路快速换线模型。当前混合集成电

了基础保障。路生产线主要采用传统换线作业模式。因混合集成

1研究背景电路存在多品种、小批量的生产模式，在此种换