基于VCSEL的光学麦克风的设计与研究.pdfVIP

摘要

麦克风是一种将声音转换为电信号的传感器，其已广泛用于电话、音乐厅和

广播电视电影制作等领域。传统的电容式MEMS麦克风是当前应用最广泛的麦克

风，但缩放定律表明随着机械尺寸的减小，其灵敏度和信噪比都会显著降低，光

学麦克风为实现麦克风的高灵敏度、高信噪比和低本底噪声提供了可能性。

VCSEL具有体积小，功耗低，光束质量好等优点，有利于实现高集成度、体积小、

功耗低、高信噪比和高灵敏度的光学麦克风。目前基于VCSEL的光学麦克风相关

研究比较少，且大多处于概念验证阶段。本文针对基于VCSEL的光学麦克风理论

研究不够明晰的问题，提出了一种基于VCSEL的光学麦克风设计结构并建立了相

关理论模型。具体研究内容如下：

（1）设计了用于光学麦克风的大带宽窄发散角的VCSEL，并提出了一种基于

VCSEL的带反射层的衍射光栅干涉式光学麦克风的解决方案。通过对带反射层的

振膜和微型光栅结构进行光学干涉和衍射建模分析，详细推导验证了该设计方案

的理论可行性。然后设计和分析了振膜的振动特性，优化了光学传感器的结构参

数，并建立了基于VCSEL的光学麦克风的噪声理论模型，系统分析了影响器件性

能的主要噪声因素。

（2）设计开发并测试了用于处理光学麦克风后端信号的三通道数据采集系统，

制定了光学麦克风结构的加工流程，采用MEMS工艺加工了所设计的光学麦克风

结构。研究结果表明，光学麦克风在理论上比传统麦克风具有更高的灵敏度和信

噪比以及更低的本底噪声，且可以和传统麦克风制造技术相兼容。本文所设计的

用于光学麦克风的VCSEL和光学麦克风结构以及后端信号采集系统符合预期，并

成功加工出了所设计的光学麦克风的振膜结构。由于实验条件有限，微型光栅传

感器结构的加工仍有进一步优化空间，光学麦克风的性能仍然可以从设计和制造

方面继续优化和改善。

本文从理论层面推导验证了基于VCSEL的光学麦克风的可行性，为该类型器

件的相关设计和优化提供了坚实的理论基础。

关键词：光学麦克风，麦克风，垂直腔面激光器

ABSTRACT

Amicrophoneisasensorthatconvertssoundintoanelectricalsignal.Itisalready

widelyusedinareassuchastelephones,concerthalls,andradio,television,andfilm

production.ThetraditionalcapacitiveMEMSmicrophoneiscurrentlythemostwidely

usedmicrophone,butthescalinglawshowsthatasthemechanicalsizedecreases,its

sensitivityandsignal-to-noiseratiowilldecreasesignificantly.Opticalmicrophonesare

inordertoachievehighsensitivity,highsignal-to-noiseratioandLownoiseflooroffers

possibilities.VCSELhastheadvantagesofsmallsize,lowpowerconsumption,andgood

beamquality,whichisconducivetotherealizationofopticalmicrophoneswithhigh

integration,smallsize,lowpowerconsumption,highsignal-to-noiseratio,andhigh

sensitivity.Atpresent,therearerelativelyfewstudiesonVCSEL-basedoptical

microphones,andmostofthemareintheproof-of