65Mn钢表面溅射TiAlN和CrAlN复合膜制备及性能研究.pdfVIP

《热加工工艺》2015年12月第44卷第24期

65Mn钢表面溅射TiAIN和CrAIN复合膜

制备及性能研究

韩士萍，许绍胜

(1．六安职业技术学院机电工程系，安徽六安237158；2．安徽同步科技有限公司，安徽六安237158)

摘要：采用磁控溅射在65Mn钢基体表面分别制备了不同Al含量(≤4Oat％)的TiA1N和CrA1N复合膜，研究了

A1含量对TiAlN和CrAlN复合膜性能的影响，并对溅射前后摩擦磨损性能进行了对比。采用X射线衍射、扫描电镜、

能谱仪(EDS)、纳米硬度仪和高温摩擦磨损试验机，系统分析了A1含量对TiA1N和CrA1N复合膜微结构、力学性能和

高温摩擦磨损性能的影响。结果表明，复合膜均为面心立方结构，且呈(1l1)择优取向生长。随Al含量增加，晶格常数逐

渐减小．而硬度逐渐增大。室温下材料的摩擦因数为0．6～0．7，300℃条件下摩擦因数为0．6～O．8，600℃条件下摩擦因

62Alo

数为0．4~0．9；表面溅射Tinln和Cro后，其室温耐磨性分别是65Mn钢的1．7倍和2．0倍，300℃下耐磨性

．．3

分别为65Mn钢的2．7倍和3．0倍，600℃下耐磨性分别为65Mn钢的3．5倍和4．0倍。

关键词：磁控溅射；TiAIN；CrA1N；摩擦磨损

DOh10．141580．cnki．1001—3814．2015．24．044

中图分类号：TG174．44文献标识码：A文章编号：1001-3814(2015)24．0153．04

InvestigationofPreparationTechnologiesandPropertiesofTiAINandCrAIN

CompositeFilmson65MnSteelSubstrate

HANShiping．XUShaoshengz

(1．DepartmentofMechanicandElectronicEngineering，Liu’anVocationalTechnicalCollege，Liu’an237158，China；2．Anhui

SynchronousAutomationTechnologyCo．，Ltd．，Liu’an237158，China1

Abstract：AseriesofTiAINandCrA1NcompositefilmswithdifferentA1contentsf≤40at％)weredepositedon65Mn

steelsubsrtatesbyRF—reactivemagnertonsputteringtechnique．TheeffectofAIcontentonpropertiesofTiA1NandCrA1N

compositefilmswasstudied．Themicrostructure，mechanicalandtribolobicalpropertieswereinvestigatedbyXRD，SEM，

enerygdispersivespectroscopy，nanoindentation，hightemperatureball—on—disctribo—meter．Theresultsshowthatthefilms

sharethefee．CrNstructurewitha(1111preferentialorienattion．Thelatticeconstantdecreasesgraduallyandthehardness

increaseswiththeincreaseofAlcontent．Thefrictioncoef