探索任意排布、不规则连续面形微光学元件的创新成形之路.docx

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2025-10-12 发布于上海
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探索任意排布、不规则连续面形微光学元件的创新成形之路

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1微光学元件的发展历程与现状

微光学作为一门新兴学科，起源于20世纪90年代，其诞生与发展深受微电子学微细加工技术进步的影响。在当时，随着工业与科技朝着微型化和智能化方向迈进，传统光学元件在尺寸和功能集成度上的局限性日益凸显，微光学应运而生。最初，微光学元件主要通过光刻、波导及薄膜技术制造，如半导体激光器、集成光纤、波导干涉仪以及二元光学元件等，这些元件在硅芯片上实现了与衬底平行的微结构构建。此后，技术的不断突破使得制造与衬底垂直的三维光学微器件成为可能，极大地拓展了微光学元件的设计与应