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耦合垂直腔面发射激光器的耦合及输出特性研究

一、引言

（一）研究背景与意义

在现代光电子技术领域，垂直腔面发射激光器（Vertical-CavitySurface-EmittingLaser，VCSEL）凭借其独特的结构和性能优势，成为了众多光电器件中的焦点。VCSEL的激光垂直于顶面射出，与传统的边发射激光器有着本质区别。其基本结构类似一个“三明治”，由上下两个分布布拉格反射镜（DBR）和中间的有源区构成。这种结构赋予了VCSEL诸多优点，如圆形对称的光束输出，使其在与光纤等光学元件耦合时，效率得到极大提升，能达到较高的耦合效率；有源区尺寸极小，这不仅有利于实现高封装密度，还能使器件在低阈值电流下工作，降低能耗；此外，VCSEL可实现高速调制，在长距离、高速率的光纤通信系统中表现出色，并且其芯片生长后无需解理，封装后即可进行在片实验，大大简化了制作流程，降低了生产成本。

由于这些卓越的性能，VCSEL在众多领域得到了广泛应用。在光通信领域，随着人们对高速、大容量数据传输需求的不断增长，VCSEL作为光发射器件，成为构建高速光纤通信网络的关键元件，为实现超长距离、超高速的千兆比特/秒（Gbit/s）乃至兆兆比特/秒（Tbit/s）光传输提供了可能。在3D传感领域，特别是以VCSEL激光器为核心关键元器件的3DSensing摄像头在手机等消费电子产品上的应用，带动了相关市场的爆发式增长。3DSensing摄像头能够获取拍摄对象的深度信息，实现实时三维信息采集，为人机交互、人脸识别、三维建模、安防和辅助驾驶等多个领域带来了全新的交互方式和应用体验。

然而，随着科技的不断发展，对VCSEL性能的要求也日益提高。在一些高端应用场景中，如密集波分复用（DWDM）系统，需要多个不同波长的激光同时工作，以提高系统的容量和传输速率；在太赫兹技术领域，需要VCSEL能够产生特定频率的激光，用于物质检测、通信等。为了满足这些需求，耦合垂直腔面发射激光器应运而生。耦合VCSEL通过独特的双腔结构，实现了两个光学谐振腔中光子之间的耦合，这种耦合机制使得器件能够实现波长调控与能量协同。通过调整中间布拉格反射镜（DBR）的周期数、腔长等参数，可以精确控制两个谐振腔之间的耦合强度，从而实现不同波长的激光输出。在DWDM系统中，耦合VCSEL可以提供多个不同波长的激光，满足不同信道的传输需求，极大地提高了系统的容量和传输速率；在太赫兹技术中，耦合VCSEL能够产生特定频率的激光，为太赫兹波的产生和应用提供了新的途径。

深入研究耦合垂直腔面发射激光器的耦合及输出特性具有至关重要的意义。通过对耦合机制的深入解析，可以进一步优化器件的设计，提高其性能，如降低阈值电流、提高输出功率、增强波长稳定性等。这不仅有助于推动耦合VCSEL在现有领域的更广泛应用，还为其在新兴领域的拓展奠定基础。同时，对耦合VCSEL输出特性的研究，能够为其在不同应用场景中的实际应用提供理论支持和技术指导，促进相关产业的发展。

（二）国内外研究现状

近年来，国内外科研人员对耦合垂直腔面发射激光器展开了广泛而深入的研究，在多个方面取得了显著进展。

在耦合结构设计方面，研究人员致力于通过优化中间布拉格反射镜（DBR）的周期数和结构，来实现更高效的光子耦合。有研究表明，通过精确调整中间DBR的周期，可以有效调控两个谐振腔之间的耦合强度，从而实现对激射波长的精确控制。例如，某研究团队通过对中间DBR周期的精细优化，成功实现了在较宽波长范围内的稳定双波长输出，为密集波分复用系统提供了更优质的光源解决方案。此外，还有研究尝试采用新型的DBR材料和结构，如非周期DBR扩展腔，以增大有效腔长，改善器件的性能，有效抑制了横向高阶模态的产生，提高了VCSEL的偏振抑制比和稳定性。

在阈值特性建模方面，基于载流子速率方程的理论模型被广泛应用。科研人员通过建立精确的载流子速率方程，结合器件的结构参数和材料特性，深入研究了耦合VCSEL的阈值特性。通过对阈值载流子浓度的精确计算，可以预测器件在不同工作条件下的阈值电流，为器件的优化设计提供了重要依据。一些研究还考虑了温度、注入电流等因素对阈值特性的影响，建立了更加完善的理论模型，使得对阈值特性的预测更加准确。

在光束整形技术方面，为了改善耦合VCSEL的光束质量，提高其与光纤等光学元件的耦合效率，研究人员提出了多种有效的方法。采用非球面透镜组对VCSEL的椭圆光斑进行准直与整形，能够将光束发散角从较大角度压缩至5°以内，同时实现圆化度≥95%，显著提高了光束的质量和耦合效率。还有研究利用微透镜阵列（MLA）与光纤阵列的无源对准技术，实现了高精度的耦