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电子专用设备仪器十五五规划

一、发展背景与形势

1.1电子专用设备仪器行业发展现状

(1)近年来，随着我国电子产业的快速发展，电子专用设备仪器行业也取得了显著成就。据统计，2019年我国电子专用设备仪器行业产值达到2000亿元，同比增长15%。其中，半导体设备、测试测量仪器、电子制造设备等细分领域发展迅速。以半导体设备为例，2019年产值达到500亿元，同比增长20%，在全球市场占比不断提升。

(2)在技术创新方面，我国电子专用设备仪器行业取得了突破性进展。例如，在半导体设备领域，我国企业自主研发的刻蚀机、光刻机等关键设备已达到国际先进水平，部分产品已进入国