多晶硅铸锭技术及设备.ppt

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4、浇铸法浇铸法将熔炼及凝固分开,熔炼在一个石英砂炉衬的感应炉中进行,熔清的硅液浇入一石墨模型中,石墨模型置于一升降台上,周围用电阻加热,然后以每分钟1mm的速度下降(其凝固过程实质也是采用的布里曼法)。特点是熔化和结晶在两个不同的坩埚中进行,从图中可以看出,这种生产方法可以实现半连续化生产,其熔化、结晶、冷却分别位于不同的地方,可以有效提高生产效率,降低能源消耗。缺点是因为熔融和结晶使用不同的坩埚,会导致二次污染,此外因为有坩埚翻转机构及引锭机构,使得其结构相对较复杂。四、多晶硅锭定向凝固生长方法第29页,共41页,星期日,2025年,2月5日图八铸造法硅锭炉示意图1.硅原料装入口2.感应炉3.凝固炉4.硅锭搬运机5.冷却机6.铸型升降7.感应炉翻转机构8.电极第30页,共41页,星期日,2025年,2月5日第1页,共41页,星期日,2025年,2月5日一、前言二、多晶硅锭的组织结构三、定向凝固时硅中杂质的分凝四、多晶硅锭定向凝固生长方法五、热交换炉型六、热交换法现行工艺讨论七、坩埚设备第2页,共41页,星期日,2025年,2月5日一、前言1、太阳电池产业是近几年发展最快的产业之一,最近5年来以超过40%的速度高速增长。2、在各种类型的太阳电池中,晶体硅太阳电池由于其转换效率高,技术成熟而继续保持领先地位,占据了90%以上的份额,预计今后十年内晶体硅仍将占主导地位。第3页,共41页,星期日,2025年,2月5日3、太阳电池产业的飞速发展,带动硅锭/硅片的需求也大增,2004年以前,我国光伏产业链中晶体硅硅片的生产厂家还只有两、三家,生产能力也只有几十兆瓦。随着市场需求的增长,涌现了很多硅片生产企业,特别是多晶硅硅锭的生产向大规模化发展,单厂生产能力已达到百兆瓦级。4、多晶硅锭生产设备主要从国外引进(美国GTSOLAR,德国ALD)。一、前言第4页,共41页,星期日,2025年,2月5日第5页,共41页,星期日,2025年,2月5日二、太阳电池多晶硅锭的组织结构1、太阳电池多晶硅锭是一种柱状晶,晶体生长方向垂直向上,是通过定向凝固(也称可控凝固、约束凝固)过程来实现的,即在结晶过程中,通过控制温度场的变化,形成单方向热流(生长方向与热流方向相反),并要求液固界面处的温度梯度大于0,横向则要求无温度梯度,从而形成定向生长的柱状晶。第6页,共41页,星期日,2025年,2月5日定向凝固柱状晶生长示意图热流方向侧向无温度梯度,不散热晶体生长方向二、太阳电池多晶硅锭的组织结构第7页,共41页,星期日,2025年,2月5日2、一般来说,纯金属通过定向凝固,可获得平面前沿,即随着凝固进行,整个平面向前推进,但随着溶质浓度的提高,由平面前沿转到柱状。对于金属,由于各表面自由能一样,生长的柱状晶取向直,无分叉。而硅由于是小平面相,不同晶面自由能不相同,表面自由能最低的晶面会优先生长,特别是由于杂质的存在,晶面吸附杂质改变了表面自由能,所以多晶硅柱状晶生长方向不如金属的直,且伴有分叉二、太阳电池多晶硅锭的组织结构第8页,共41页,星期日,2025年,2月5日二、太阳电池多晶硅锭的组织结构多晶硅锭的柱状晶结构第9页,共41页,星期日,2025年,2月5日三、定向凝固时硅中杂质的分凝1、太阳电池硅锭的生长也是一个硅的提纯过程,是基于杂质的分凝效应进行的。如下图所示,一杂质浓度为C0的组分,当温度下降至T’’时,其固液界面处固相侧的杂质浓度为C*S。第10页,共41页,星期日,2025年,2月5日2、对一个杂质浓度非常小的平衡固液相系统,在液固界面处固相中的成分与在液相中的成分比值为一定,可表达为平衡分配系数K=C*S/C*L其中,C*L液固界面处液相侧溶质浓度C*S液固界面处固相侧溶质浓度金属杂质在硅中平衡分配系数在10-4—10-8之间,B为0.8,P为0.35。三、定向凝固时硅中杂质的分凝第11页,共41页,星期日,2025年,2月5日3、实际生产中固液界面还存在一个溶质富集层,杂质的分配系数还与该富集层的厚度、杂质的扩散速度、硅液的对流强度及晶体生长速度均有关,引入有效分配系数K’

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