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用于介电常数检测的平面电容传感器研究与设计.pdf

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    中文摘要

    介电常数是反映电介质在电场作用下介电性质的主要参数。随着现代工业和科

    学技术的发展进步，往往可以通过测量材料的介电常数来判断电介质的种类、性能及

    工作状态。本文从传感器的原理分析、结构设计和性能检测三方面入手，研究分析了

    用于测量相对介电常数的平面电容传感器的设计方法和传感性能。论文主要工作和

    成果如下：

    1)为实现在较低频率处高精度测量材料的相对介电常数，文中提出了一种改良

    型叉指电容传感器结构和便捷的测量方法。传感器基于边缘电场效应，将待测材料置

    于电极上表面

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