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探索低温化学气相沉积法在可控合成二维铁电材料中的应用.docxVIP

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  • 2025-10-22 发布于广东
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探索低温化学气相沉积法在可控合成二维铁电材料中的应用.docx

    探索低温化学气相沉积法在可控合成二维铁电材料中的应用

    目录

    探索低温化学气相沉积法在可控合成二维铁电材料中的应用（1）．．3

    文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

    1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

    1.2FCVD技术的基本概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

    1.3二维铁电材料研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

    FCVD方法原理与关键技术．．．．．．．．．．．

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